Үнэн хэрэгтээ, ион цацрагийн тусламжтайгаар хуримтлуулах технологи нь нийлмэл технологи юм.Энэ нь ионы суулгац ба физикийн уурын хальсыг нэгтгэсэн гадаргуугийн ионы нийлмэл эмчилгээний арга бөгөөд шинэ төрлийн ионы цацрагийн гадаргуугийн оновчлолын техник юм.Физик уурын хуримтлалын давуу талуудаас гадна энэ техник нь илүү хатуу хяналтын нөхцөлд ямар ч зузаантай хальсыг тасралтгүй ургуулж, хальсны давхаргын талст чанар, чиглэлийг мэдэгдэхүйц сайжруулж, хальсны давхарга/субстратын наалдамхай чанарыг нэмэгдүүлж, нягтралыг сайжруулдаг. тасалгааны температур болон даралтад авах боломжгүй шинэ төрлийн хальсыг багтаасан ойролцоох өрөөний температурт хамгийн тохиромжтой стехиометрийн харьцаатай нийлмэл хальсыг нэгтгэх.Ионы цацрагийн тусламжтайгаар тунадасжуулах нь ион суулгах процессын давуу талыг хадгалахаас гадна субстратыг субстратаас огт өөр хальсаар бүрхэж болно.
Бүх төрлийн физик уурын хуримтлал ба химийн уурын хуримтлалд IBAD системийг бий болгохын тулд туслах бөмбөгдөлт ионы бууг нэмж оруулах боломжтой бөгөөд IBAD-ийн ерөнхий хоёр процессыг Зураг дээр үзүүлэв.
Зураг (a)-д үзүүлсэнчлэн электрон цацрагийн ууршилтын эх үүсвэрийг ионы буунаас ялгарах ионы туяагаар хальсны давхаргыг гэрэлтүүлэхэд ашигладаг бөгөөд ингэснээр ионы цацрагийн тусламжтайгаар хуримтлал үүсгэдэг.Давуу тал нь ионы цацрагийн энерги, чиглэлийг тохируулах боломжтой боловч зөвхөн ганц эсвэл хязгаарлагдмал хайлш, эсвэл нэгдлүүдийг ууршуулах эх үүсвэр болгон ашиглах боломжтой бөгөөд хайлшийн бүрэлдэхүүн хэсэг, нэгдлийн уурын даралт тус бүрийн хувьд өөр байдаг тул үүнийг хэцүү болгодог. ууршилтын эх үүсвэрийн анхны найрлагын хальсан давхаргыг олж авах.
Зураг (б) нь ионы цацраг цацруулагч бодисыг эх үүсвэр болгон ашигладаг давхар ионы цацрагийн хуримтлал гэгддэг ионы цацраг цацруулагч бодисыг харуулж байна.Үүнийг субстрат дээр байрлуулахдаа ионы цацраг цацах тусламжтайгаар өөр ионы эх үүсвэртэй цацраг туяагаар цацруулдаг.Энэ аргын давуу тал нь цацагдсан хэсгүүд нь өөрөө тодорхой энергитэй байдаг тул субстраттай илүү сайн наалддаг;Зорилтот хэсгийн аль ч бүрэлдэхүүн хэсэг нь шүршигч бүрээстэй байхаас гадна хальсанд шүрших урвал байж болно, хальсны найрлагыг тохируулахад хялбар байдаг, гэхдээ түүний хуримтлуулах үр ашиг бага, зорилтот өртөг өндөр, сонгомол шүрших зэрэг асуудал гардаг.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 11-р сарын 08-ны өдөр