Вакуум плазм цэвэрлэх төхөөрөмж нь RF-ийн ион цэвэрлэх систем, бүрэн автомат удирдлага, тохиромжтой ажиллагаа, засвар үйлчилгээ бүхий нэгдсэн бүтэцтэй.
RF-ийн өндөр давтамжийн генератор нь өндөр нягтралтай плазм үүсгэх, ажлын хэсгийн гадаргууг идэвхжүүлэх, сийрэгжүүлэх, үнслэх, бүтээгдэхүүний гадаргуу дээрх тоос, тосыг үр дүнтэй арилгах, гадаргуугийн стрессийг арилгах, ажлын хэсгийн гадаргуу дээр янз бүрийн өөрчлөлт хийх боломжтой.
Энэ нь резин, шил, керамик, металл болон бусад бүтээгдэхүүнд хамаарах бөгөөд микроэлектроник, LCD, LED, LCM, ПХБ хэлхээний самбар, хагас дамжуулагч сав баглаа боодол, эмнэлгийн хэрэгсэл, амьдралын шинжлэх ухааны туршилт болон бусад салбарт хэрэглэгддэг.