GX600

उपकरणे उभ्या समोरच्या दरवाजाची रचना आणि क्लस्टर लेआउट स्वीकारतात.हे धातू आणि विविध सेंद्रिय पदार्थांसाठी बाष्पीभवन स्त्रोतांसह सुसज्ज केले जाऊ शकते आणि विविध वैशिष्ट्यांच्या सिलिकॉन वेफर्सचे बाष्पीभवन करू शकते.अचूक संरेखन प्रणालीसह सुसज्ज, कोटिंग स्थिर आहे आणि कोटिंगची पुनरावृत्ती चांगली आहे.
GX600 कोटिंग उपकरणे अचूकपणे, समान रीतीने आणि नियंत्रितपणे सेंद्रिय प्रकाश-उत्सर्जक सामग्री किंवा धातूचे पदार्थ सब्सट्रेटवर बाष्पीभवन करू शकतात.यात साधी फिल्म निर्मिती, उच्च शुद्धता आणि उच्च कॉम्पॅक्टनेसचे फायदे आहेत.पूर्ण-स्वयंचलित फिल्म जाडी रिअल-टाइम मॉनिटरिंग सिस्टम प्रक्रियेची पुनरावृत्ती आणि स्थिरता सुनिश्चित करू शकते.ऑपरेटरच्या कौशल्यावरील अवलंबित्व कमी करण्यासाठी ते सेल्फ मेल्टिंग फंक्शनसह सुसज्ज आहे.
उपकरणे Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti आणि इतर धातू सामग्रीवर लागू केली जाऊ शकतात आणि मेटल फिल्म, डायलेक्ट्रिक लेयर फिल्म, IMD फिल्म इत्यादीसह लेपित केले जाऊ शकतात. ते मुख्यतः सेमीकंडक्टरमध्ये वापरले जाते उद्योग, जसे की पॉवर उपकरणे, अर्धसंवाहक मागील पॅकेजिंग सब्सट्रेट कोटिंग इ.