HFCVD0606

रासायनिक वाष्प संचय उपकरणांचे व्हॅक्यूम कोटिंग चेंबर स्वतंत्र डबल-लेयर वॉटर-कूलिंग संरचना स्वीकारते, जी कार्यक्षम आणि शीतकरणात एकसमान असते आणि सुरक्षित आणि स्थिर संरचना असते.उपकरणे दुहेरी दरवाजे, एकाधिक निरीक्षण खिडक्या आणि एकाधिक विस्तार इंटरफेससह डिझाइन केलेले आहेत, जे इन्फ्रारेड तापमान मापन, वर्णक्रमीय विश्लेषण, व्हिडिओ मॉनिटरिंग आणि थर्मोकूपल यांसारख्या सहायक परिधीयांच्या बाह्य कनेक्शनसाठी सोयीस्कर आहे.प्रगत डिझाइन संकल्पना दैनंदिन दुरुस्ती आणि देखभाल, कॉन्फिगरेशन बदल आणि उपकरणांचे अपग्रेड सुलभ आणि सोपी बनवते आणि वापर आणि अपग्रेड खर्च प्रभावीपणे कमी करते.

उपकरणे वैशिष्ट्ये:

1.उपकरणांच्या इन्फ्लेशन घटकांमध्ये प्रामुख्याने मास फ्लो मीटर, सोलेनॉइड व्हॉल्व्ह आणि गॅस मिक्सिंग टाकी यांचा समावेश होतो, जे प्रक्रिया वायू प्रवाहाचे अचूक नियंत्रण, एकसमान मिश्रण आणि विविध वायूंचे सुरक्षित पृथक्करण सुनिश्चित करतात आणि वापरण्यासाठी गॅस सिस्टम घटक निवडू शकतात. द्रव वायू स्त्रोत, द्रव कार्बन स्त्रोतांच्या विस्तृत श्रेणीची वैयक्तिक निवड आणि कृत्रिम प्रवाहकीय डायमंड आणि इलेक्ट्रोड लिक्विड बोरॉन स्त्रोतांचा सुरक्षित वापर सुलभ करा.
2. एअर एक्सट्रॅक्शन असेंबली एक मूक आणि कार्यक्षम रोटरी व्हेन व्हॅक्यूम पंप आणि टर्बो आण्विक पंप प्रणालीसह सुसज्ज आहे जी उच्च व्हॅक्यूम पार्श्वभूमी वातावरणास द्रुतपणे पूर्ण करू शकते.रेझिस्टन्स गेज आणि आयनीकरण गेजसह कंपोझिट व्हॅक्यूम गेजचा वापर व्हॅक्यूम मापनासाठी केला जातो, तसेच कॅपेसिटिव्ह फिल्म गेज सिस्टीम जी विविध प्रक्रिया वायूंचा दाब विस्तृत श्रेणीत मोजू शकते.उच्च-परिशुद्धता आनुपातिक नियंत्रण वाल्वद्वारे डिपॉझिशन प्रेशर पूर्णपणे स्वयंचलितपणे नियंत्रित केले जाते.
3. शीतलक पाण्याचा घटक मल्टी-चॅनल पाण्याचा दाब, प्रवाह, तापमान मापन आणि सॉफ्टवेअर स्वयंचलित मॉनिटरिंगसह सुसज्ज आहे.भिन्न शीतकरण घटक एकमेकांपासून स्वतंत्र आहेत, जे जलद दोष निदानासाठी सोयीचे आहे.सर्व शाखांमध्ये स्वतंत्र वाल्व स्विच आहेत, जे सुरक्षित आणि कार्यक्षम आहेत.
4. इलेक्ट्रिकल कंट्रोल घटक मोठ्या आकाराच्या मॅन-मशीन इंटरफेस एलसीडी स्क्रीनचा अवलंब करतात आणि प्रक्रिया सूत्र संपादन आणि आयात सुलभ करण्यासाठी पीएलसी पूर्ण-स्वयंचलित नियंत्रणास सहकार्य करतात.ग्राफिकल वक्र विविध पॅरामीटर्समधील बदल आणि मूल्ये दृश्यमानपणे प्रदर्शित करते आणि समस्या ट्रेसिंग आणि डेटा सांख्यिकीय विश्लेषण सुलभ करण्यासाठी उपकरणे आणि प्रक्रिया पॅरामीटर्स स्वयंचलितपणे रेकॉर्ड आणि संग्रहित केले जातात.
5. सब्सट्रेट टेबल उचलणे आणि कमी करणे नियंत्रित करण्यासाठी वर्कपीस रॅक सर्वो मोटरसह सुसज्ज आहे.ग्रेफाइट किंवा लाल तांबे सब्सट्रेट टेबल निवडले जाऊ शकते.तापमान थर्मोकूपलद्वारे मोजले जाते.
6. ग्राहकांच्या विशेष हाताळणी आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी ग्राहकांच्या गरजांनुसार रॅक घटक संपूर्ण किंवा स्वतंत्रपणे डिझाइन केले जाऊ शकतात.
7. सीलिंग प्लेटचे घटक सुंदर आणि मोहक आहेत.उपकरणांच्या वेगवेगळ्या फंक्शनल मॉड्यूल क्षेत्रातील सीलिंग प्लेट्स त्वरीत डिस्सेम्बल किंवा उघडल्या आणि स्वतंत्रपणे बंद केल्या जाऊ शकतात, जे वापरण्यास अतिशय सोयीस्कर आहे.

हॉट फिलामेंट सीव्हीडी उपकरणे पातळ फिल्म कोटिंग, सेल्फ-सपोर्टिंग जाड फिल्म, मायक्रोक्रिस्टलाइन आणि नॅनोक्रिस्टलाइन डायमंड, कंडक्टिव्ह डायमंड इत्यादींसह डायमंड सामग्री जमा करण्यासाठी योग्य आहेत. हे मुख्यतः सिमेंट कार्बाइड कटिंग टूल्स, सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या पोशाख-प्रतिरोधक संरक्षणात्मक कोटिंगसाठी वापरले जाते. जसे की सिलिकॉन आणि सिलिकॉन कार्बाइड, उपकरणांचे उष्णतेचे अपव्यय कोटिंग, बोरॉन डोपड कंडक्टिव्ह डायमंड इलेक्ट्रोड, इलेक्ट्रोलाइटिक पाण्याचे ओझोन निर्जंतुकीकरण किंवा सांडपाणी प्रक्रिया.