1) बेलनाकार लक्ष्यांचा वापर दर प्लॅनर लक्ष्यांपेक्षा जास्त आहे.कोटिंग प्रक्रियेत, रोटरी चुंबकीय प्रकार असो किंवा रोटरी ट्यूब प्रकार दंडगोलाकार स्पटरिंग लक्ष्य असो, लक्ष्य ट्यूबच्या पृष्ठभागाचे सर्व भाग कॅथोड स्पटरिंग प्राप्त करण्यासाठी कायम चुंबकाच्या समोर निर्माण झालेल्या स्पटरिंग क्षेत्रातून सतत जातात आणि लक्ष्य समान रीतीने स्पटर केलेले कोरले जाऊ शकते आणि लक्ष्य वापर दर जास्त आहे.लक्ष्य सामग्रीचा वापर दर सुमारे 80% ~ 90% आहे.
2) दंडगोलाकार लक्ष्य "लक्ष्य विषबाधा" तयार करणे सोपे होणार नाही.कोटिंग प्रक्रियेदरम्यान, टार्गेट ट्यूबची पृष्ठभाग नेहमी थुंकलेली असते आणि आयनांनी कोरलेली असते आणि पृष्ठभागावर जाड ऑक्साइड आणि इतर इन्सुलेट फिल्म्स जमा करणे सोपे नसते आणि "लक्ष्य विषबाधा" तयार करणे सोपे नसते.
3) रोटरी टार्गेट ट्यूब प्रकार दंडगोलाकार स्पटरिंग टार्गेटची रचना साधी आणि स्थापित करणे सोपे आहे.
4) दंडगोलाकार लक्ष्य ट्यूब सामग्रीमध्ये विविध प्रकार आहेत.मेटल टार्गेट डायरेक्ट वॉटर कूलिंगसह प्लानर टार्गेट, आणि काहींवर प्रक्रिया केली जाऊ शकत नाही आणि बेलनाकार लक्ष्य तयार केले जाऊ शकत नाही, जसे की In2-SnO2 टार्गेट, इ. प्लेटसारखे लक्ष्य मिळविण्यासाठी गरम आयसोस्टॅटिक दाबण्यासाठी पावडर सामग्रीसह, कारण आकार तयार केला जाऊ शकत नाही. मोठे, आणि ठिसूळ, त्यामुळे ब्रेझिंग पद्धत आणि कॉपर बॅकप्लेट एकत्रित करण्यासाठी आणि नंतर लक्ष्य बेसवर स्थापित करणे आवश्यक आहे.धातूच्या पाईप्स व्यतिरिक्त, स्तंभीय लक्ष्य देखील स्टेनलेस स्टील पाईप्सच्या पृष्ठभागावर विविध सामग्रीसह फवारले जाऊ शकतात ज्यांना कोटिंग करणे आवश्यक आहे, जसे की Si, Cr, इ.
सध्या, औद्योगिक उत्पादनामध्ये कोटिंगसाठी दंडगोलाकार लक्ष्यांचे प्रमाण वाढत आहे.दंडगोलाकार लक्ष्य केवळ उभ्या कोटिंग मशीनसाठीच वापरत नाहीत तर रोल टू रोल कोटिंग मशीनमध्ये देखील वापरतात.अलिकडच्या वर्षांत, प्लॅनर ट्विन टार्गेट्सची जागा हळूहळू बेलनाकार ट्विन टार्गेट्सने घेतली आहे.
——हा लेख ग्वांगडोंग झेन्हुआ टेक्नॉलॉजी, एऑप्टिकल कोटिंग मशीनचे निर्माता.
पोस्ट वेळ: मे-11-2023