① चांगली नियंत्रणक्षमता आणि फिल्म जाडीची पुनरावृत्तीक्षमता
फिल्मची जाडी पूर्वनिर्धारित मूल्यावर नियंत्रित केली जाऊ शकते की नाही याला फिल्म जाडी नियंत्रणक्षमता म्हणतात.आवश्यक फिल्म जाडी अनेक वेळा पुनरावृत्ती केली जाऊ शकते, ज्याला फिल्म जाडी पुनरावृत्ती म्हणतात. कारण व्हॅक्यूम स्पटरिंग कोटिंगचा डिस्चार्ज करंट आणि लक्ष्य प्रवाह स्वतंत्रपणे नियंत्रित केला जाऊ शकतो.म्हणून, थुंकलेल्या फिल्मची जाडी नियंत्रित करता येते आणि पूर्वनिर्धारित जाडी असलेली फिल्म विश्वसनीयरित्या जमा केली जाऊ शकते.याव्यतिरिक्त, स्पटर कोटिंग मोठ्या पृष्ठभागावर एकसमान जाडीसह एक फिल्म मिळवू शकते.
② फिल्म आणि सब्सट्रेट दरम्यान मजबूत आसंजन
थुंकलेल्या अणूंची उर्जा बाष्पीभवन झालेल्या अणूंपेक्षा 1-2 ऑर्डर जास्त असते.सब्सट्रेटवर जमा केलेल्या उच्च-ऊर्जेच्या थुंकलेल्या अणूंचे ऊर्जा रूपांतरण हे बाष्पीभवन झालेल्या अणूंपेक्षा खूप जास्त आहे, ज्यामुळे जास्त उष्णता निर्माण होते आणि थुंकलेले अणू आणि थर यांच्यातील चिकटपणा वाढतो.याव्यतिरिक्त, काही उच्च-ऊर्जेचे थुंकलेले अणू वेगवेगळ्या प्रमाणात इंजेक्शन तयार करतात, ज्यामुळे सब्सट्रेटवर स्यूडोडिफ्यूजन थर तयार होतो.याव्यतिरिक्त, फिल्म तयार करण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान प्लाझ्मा प्रदेशात सब्सट्रेट नेहमी साफ आणि सक्रिय केले जाते, जे कमकुवत आसंजन असलेले स्पटरिंग अणू काढून टाकते आणि सब्सट्रेट पृष्ठभाग शुद्ध आणि सक्रिय करते.म्हणून, थुंकलेल्या फिल्ममध्ये सब्सट्रेटला मजबूत चिकटपणा असतो.
③ लक्ष्यापेक्षा वेगळी नवीन मटेरियल फिल्म तयार केली जाऊ शकते
स्पटरिंग दरम्यान रिऍक्टिव्ह वायूची ओळख लक्ष्याशी विक्रिया करण्यासाठी केल्यास, लक्ष्यापेक्षा पूर्णपणे भिन्न असलेली नवीन सामग्री प्राप्त केली जाऊ शकते.उदाहरणार्थ, सिलिकॉनचा वापर स्पटरिंग लक्ष्य म्हणून केला जातो आणि ऑक्सिजन आणि आर्गॉन व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये एकत्र ठेवले जातात.स्पटरिंग केल्यानंतर, SiOz इन्सुलेटिंग फिल्म मिळवता येते.स्पटरिंग टार्गेट म्हणून टायटॅनियमचा वापर करून, नायट्रोजन आणि आर्गॉन व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये एकत्र ठेवले जातात आणि स्पटरिंगनंतर फेज TiN सोन्यासारखी फिल्म मिळवता येते.
④ उच्च शुद्धता आणि चित्रपटाची चांगली गुणवत्ता
स्पटरिंग फिल्म तयार करण्याच्या यंत्रामध्ये क्रूसिबल घटक नसल्यामुळे, क्रूसिबल हीटर सामग्रीचे घटक स्पटरिंग फिल्म लेयरमध्ये मिसळले जाणार नाहीत.स्पटरिंग कोटिंगचे तोटे म्हणजे बाष्पीभवन कोटिंगच्या तुलनेत फिल्म बनवण्याची गती कमी असते, सब्सट्रेटचे तापमान जास्त असते, अशुद्ध वायूमुळे प्रभावित होणे सोपे असते आणि डिव्हाइसची रचना अधिक जटिल असते.
हा लेख गुआंगडोंग झेनहुआ या उत्पादकाने प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणे
पोस्ट वेळ: मार्च-०९-२०२३