प्लाझ्मा डायरेक्ट पॉलिमरायझेशन प्रक्रिया

प्लाझ्मा डायरेक्ट पॉलिमरायझेशन प्रक्रिया

प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनची प्रक्रिया अंतर्गत इलेक्ट्रोड पॉलिमरायझेशन उपकरणे आणि बाह्य इलेक्ट्रोड पॉलिमरायझेशन उपकरणे दोन्हीसाठी तुलनेने सोपी आहे, परंतु प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनमध्ये पॅरामीटर्सची निवड अधिक महत्त्वाची आहे, कारण पॅरामीटर्सचा प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन दरम्यान पॉलिमर फिल्म्सच्या संरचनेवर आणि कार्यक्षमतेवर जास्त प्रभाव पडतो.

डायरेक्ट प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनचे ऑपरेशन टप्पे खालीलप्रमाणे आहेत:

(1) व्हॅक्यूमिंग

व्हॅक्यूम परिस्थितीत पॉलिमरायझेशनची पार्श्वभूमी व्हॅक्यूम 1.3×10-1Pa वर पंप केली पाहिजे.ऑक्सिजन किंवा नायट्रोजन सामग्री नियंत्रित करण्यासाठी विशेष आवश्यकता असलेल्या पॉलिमरायझेशन प्रतिक्रियांसाठी, पार्श्वभूमी व्हॅक्यूमची आवश्यकता अधिक असते.

(2) चार्ज प्रतिक्रिया मोनोमर किंवा वाहक वायू आणि मोनोमरचा मिश्रित वायू

व्हॅक्यूम डिग्री 13-130Pa आहे.प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनसाठी काम आवश्यक आहे, योग्य प्रवाह नियंत्रण मोड आणि प्रवाह दर निवडला जाईल, साधारणपणे 10.100mL/min.प्लाझ्मामध्ये, मोनोमर रेणू ऊर्जावान कणांच्या भडिमाराने आयनीकृत आणि विलग होतात, परिणामी आयन आणि सक्रिय जीन्ससारखे सक्रिय कण तयार होतात.प्लाझमाद्वारे सक्रिय केलेले सक्रिय कण गॅस फेज आणि सॉलिड फेजच्या इंटरफेसमध्ये प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन करू शकतात.मोनोमर हा प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनचा अग्रदूत आहे आणि इनपुट प्रतिक्रिया वायू आणि मोनोमरची विशिष्ट शुद्धता असणे आवश्यक आहे.

(3) उत्तेजित वीज पुरवठ्याची निवड

पॉलिमरायझेशनसाठी प्लाझ्मा वातावरण प्रदान करण्यासाठी डीसी, उच्च-फ्रिक्वेंसी, आरएफ किंवा मायक्रोवेव्ह उर्जा स्त्रोत वापरून प्लाझ्मा तयार केला जाऊ शकतो.पॉवर सप्लायची निवड पॉलिमरची रचना आणि कार्यप्रदर्शनाच्या आवश्यकतांवर आधारित निर्धारित केली जाते.

(4) डिस्चार्ज मोडची निवड

पॉलिमर आवश्यकतांसाठी, प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन दोन डिस्चार्ज मोड निवडू शकते: सतत डिस्चार्ज किंवा पल्स डिस्चार्ज.

(5) डिस्चार्ज पॅरामीटर्सची निवड

प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन आयोजित करताना, प्लाझ्मा पॅरामीटर्स, पॉलिमर गुणधर्म आणि संरचना आवश्यकतांमधून डिस्चार्ज पॅरामीटर्सचा विचार करणे आवश्यक आहे.पॉलिमरायझेशन दरम्यान लागू केलेल्या पॉवरची परिमाण व्हॅक्यूम चेंबरची मात्रा, इलेक्ट्रोड आकार, मोनोमर प्रवाह दर आणि संरचना, पॉलिमरायझेशन दर आणि पॉलिमर संरचना आणि कार्यप्रदर्शन द्वारे निर्धारित केले जाते.उदाहरणार्थ, जर रिअॅक्शन चेंबर व्हॉल्यूम 1L असेल आणि RF प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन स्वीकारले असेल, तर डिस्चार्ज पॉवर 10 ~ 30W च्या श्रेणीत असेल.अशा परिस्थितीत, तयार होणारा प्लाझ्मा वर्कपीसच्या पृष्ठभागावर एक पातळ फिल्म तयार करण्यासाठी एकत्रित होऊ शकतो.प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन फिल्मचा वाढीचा दर वीज पुरवठा, मोनोमर प्रकार आणि प्रवाह दर आणि प्रक्रिया परिस्थितीनुसार बदलतो.साधारणपणे, वाढीचा दर 100nm/min ~ 1um/min असतो.

(6) प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनमध्ये पॅरामीटर मापन

प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनमध्ये मोजल्या जाणार्‍या प्लाझ्मा पॅरामीटर्स आणि प्रोसेस पॅरामीटर्समध्ये हे समाविष्ट आहे: डिस्चार्ज व्होल्टेज, डिस्चार्ज करंट, डिस्चार्ज वारंवारता, इलेक्ट्रॉन तापमान, घनता, प्रतिक्रिया गट प्रकार आणि एकाग्रता इ.

——हा लेख ग्वांगडोंग झेन्हुआ टेक्नॉलॉजी, एऑप्टिकल कोटिंग मशीनचे निर्माता.