1. बॉम्बर्डमेंट क्लिनिंग सब्सट्रेट
1.1) स्पटरिंग कोटिंग मशीन सब्सट्रेट साफ करण्यासाठी ग्लो डिस्चार्ज वापरते.म्हणजेच, आर्गॉन गॅस चेंबरमध्ये चार्ज करा, डिस्चार्ज व्होल्टेज सुमारे 1000V आहे, वीज पुरवठा चालू केल्यानंतर, एक ग्लो डिस्चार्ज तयार होतो आणि सब्सट्रेट आर्गॉन आयन बॉम्बर्डमेंटद्वारे साफ केला जातो.
1.2) औद्योगिकदृष्ट्या उच्च दर्जाचे दागिने तयार करणार्‍या स्पटरिंग कोटिंग मशीनमध्ये, लहान चाप स्त्रोतांद्वारे उत्सर्जित होणारे टायटॅनियम आयन बहुतेक साफसफाईसाठी वापरले जातात.स्पटरिंग कोटिंग मशीन लहान चाप स्त्रोतासह सुसज्ज आहे आणि लहान आर्क स्त्रोत डिस्चार्जद्वारे व्युत्पन्न केलेल्या आर्क प्लाझ्मामधील टायटॅनियम आयन प्रवाहाचा वापर सब्सट्रेटवर भडिमार करण्यासाठी आणि साफ करण्यासाठी केला जातो.
2. टायटॅनियम नायट्राइड कोटिंग
टायटॅनियम नायट्राइड पातळ फिल्म्स जमा करताना, स्पटरिंगसाठी लक्ष्य सामग्री टायटॅनियम लक्ष्य असते.लक्ष्य सामग्री स्पटरिंग पॉवर सप्लायच्या नकारात्मक इलेक्ट्रोडशी जोडलेली आहे आणि लक्ष्य व्होल्टेज 400~500V आहे;आर्गॉन फ्लक्स निश्चित आहे, आणि नियंत्रण व्हॅक्यूम (3~8) x10 आहे-1पीए.सब्सट्रेट 100~200V च्या व्होल्टेजसह बायस पॉवर सप्लायच्या नकारात्मक इलेक्ट्रोडशी जोडलेले आहे.
स्पटरिंग टायटॅनियम टार्गेटचा पॉवर सप्लाय चालू केल्यानंतर, एक ग्लो डिस्चार्ज तयार होतो आणि उच्च-ऊर्जेचे आर्गॉन आयन स्पटरिंग टार्गेटवर भडिमार करतात, टायटॅनियम अणू टार्गेटमधून स्पटरिंग करतात.
प्रतिक्रिया वायू नायट्रोजन सादर केला जातो, आणि टायटॅनियम अणू आणि नायट्रोजन कोटिंग चेंबरमध्ये टायटॅनियम आयन आणि नायट्रोजन आयनमध्ये आयनीकृत केले जातात.सब्सट्रेटवर लागू केलेल्या नकारात्मक पूर्वाग्रहाच्या विद्युत क्षेत्राच्या आकर्षणाखाली, टायटॅनियम आयन आणि नायट्रोजन आयन रासायनिक अभिक्रिया आणि जमा होण्यासाठी सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर टायटॅनियम नायट्राइड फिल्म लेयर तयार करण्यासाठी वेग वाढवतात.
3. सब्सट्रेट बाहेर काढा
पूर्वनिर्धारित फिल्म जाडीपर्यंत पोहोचल्यानंतर, स्पटरिंग पॉवर सप्लाय, सब्सट्रेट बायस पॉवर सप्लाय आणि एअर सोर्स बंद करा.सब्सट्रेटचे तापमान 120 ℃ पेक्षा कमी झाल्यानंतर, कोटिंग चेंबर हवेने भरा आणि सब्सट्रेट बाहेर काढा.
हा लेख प्रकाशित केला आहेमॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन निर्माता- ग्वांगडोंग झेन्हुआ.
पोस्ट वेळ: एप्रिल-०७-२०२३