व्हॅक्यूम कोटिंग मशीन प्रक्रिया काय आहेत?कामकाजाचे तत्त्व काय आहे?

दव्हॅक्यूम कोटिंगमशीन प्रक्रियेची विभागणी केली आहे: व्हॅक्यूम बाष्पीभवन कोटिंग, व्हॅक्यूम स्पटरिंग कोटिंग आणि व्हॅक्यूम आयन कोटिंग.

1, व्हॅक्यूम बाष्पीभवन कोटिंग

व्हॅक्यूम स्थितीत, सामग्रीचे बाष्पीभवन करा，जसे की धातू, धातूचे मिश्र धातु इ. नंतर ते थर पृष्ठभागावर जमा करा, बाष्पीभवन कोटिंग पद्धत बहुतेक वेळा प्रतिरोधक हीटिंगचा वापर करते आणि नंतर कोटिंग सामग्रीवर इलेक्ट्रॉन बीमचा भडिमार करून ते तयार केले जाते. वायूच्या टप्प्यात बाष्पीभवन केले जाते, नंतर थर पृष्ठभागावर जमा केले जाते, ऐतिहासिकदृष्ट्या, व्हॅक्यूम वाष्प जमा करणे हे पीव्हीडी पद्धतीमध्ये वापरलेले पूर्वीचे तंत्रज्ञान आहे.

2, स्पटरिंग कोटिंग

(Ar) भरलेल्या व्हॅक्यूम परिस्थितीत वायू ग्लो डिस्चार्जच्या अधीन आहे, या क्षणी आर्गॉन (एआर) अणू आयन नायट्रोजन आयन (एआर) मध्ये बदलतात, आयन विद्युत क्षेत्राच्या बलाने प्रवेगित होतात, आणि कॅथोड लक्ष्यावर भडिमार करतात. कोटिंग मटेरिअलपासून बनवलेले आहे, टार्गेट बाहेर टाकले जाईल आणि सब्सट्रेट पृष्ठभागावर जमा केले जाईल स्पटर कोटिंगमधील घटना आयन, सामान्यत: ग्लो डिस्चार्ज द्वारे प्राप्त केले जातात, 10-2pa ते 10Pa या श्रेणीतील असतात，म्हणून थुंकलेले कण आदळणे सोपे आहे सब्सट्रेटकडे उड्डाण करताना व्हॅक्यूम चेंबरमधील गॅस रेणूंसह, गतीची दिशा यादृच्छिक बनते आणि जमा केलेली फिल्म एकसमान असणे सोपे होते.

3, आयन कोटिंग

व्हॅक्यूम परिस्थितीत, व्हॅक्यूम स्थितीत, कोटिंग सामग्रीच्या अणूंचे अंशतः आयनीकरण करण्यासाठी विशिष्ट प्लाझ्मा आयनीकरण तंत्राचा वापर केला जातो. त्याच वेळी अनेक उच्च ऊर्जा तटस्थ अणू तयार होतात ， जे सब्सट्रेटवर नकारात्मक पक्षपाती असतात. अशा प्रकारे, आयन पातळ फिल्म तयार करण्यासाठी खोल नकारात्मक पूर्वाग्रहाखाली सब्सट्रेट पृष्ठभागावर जमा केले जाते.