उपकरणांची ही मालिका लेप सामग्रीचे रूपांतर नॅनोमीटर आकाराच्या कणांमध्ये रूपांतरित करण्यासाठी मॅग्नेट्रॉन लक्ष्यांचा वापर करते, जे पातळ फिल्म तयार करण्यासाठी सब्सट्रेट्सच्या पृष्ठभागावर जमा केले जातात.रोल केलेली फिल्म व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये ठेवली जाते.इलेक्ट्रिकली चालविलेल्या विंडिंग स्ट्रक्चरद्वारे, एक टोक फिल्म प्राप्त करतो आणि दुसरा फिल्म ठेवतो.हे लक्ष्य क्षेत्रातून जात राहते आणि दाट फिल्म तयार करण्यासाठी लक्ष्य कण प्राप्त करते.
वैशिष्ट्यपूर्ण:
1. कमी तापमानाची फिल्म तयार करणे.तापमानाचा चित्रपटावर थोडासा प्रभाव पडतो आणि विकृती निर्माण होणार नाही.हे पीईटी, पीआय आणि इतर बेस मटेरियल कॉइल फिल्मसाठी योग्य आहे.
2. चित्रपटाची जाडी डिझाइन केली जाऊ शकते.प्रक्रिया समायोजनाद्वारे पातळ किंवा जाड कोटिंग्ज डिझाइन आणि जमा केल्या जाऊ शकतात.
3. एकाधिक लक्ष्य स्थान डिझाइन, लवचिक प्रक्रिया.संपूर्ण मशीन आठ लक्ष्यांसह सुसज्ज असू शकते, जे एकतर साधे धातू लक्ष्य किंवा कंपाऊंड आणि ऑक्साईड लक्ष्य म्हणून वापरले जाऊ शकते.याचा वापर सिंगल स्ट्रक्चरसह सिंगल-लेयर फिल्म्स किंवा कंपोझिट स्ट्रक्चरसह मल्टी-लेयर फिल्म्स तयार करण्यासाठी केला जाऊ शकतो.प्रक्रिया खूप लवचिक आहे.
उपकरणे इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक शील्डिंग फिल्म, लवचिक सर्किट बोर्ड कोटिंग, विविध डायलेक्ट्रिक फिल्म्स, मल्टी-लेयर एआर अँटीरिफ्लेक्शन फिल्म, एचआर हाय अँटीरिफ्लेक्शन फिल्म, कलर फिल्म इत्यादी तयार करू शकतात. उपकरणांमध्ये खूप विस्तृत अनुप्रयोग आहेत आणि सिंगल-लेयर फिल्म डिपॉझिशन एक-वेळ फिल्म डिपॉझिशनद्वारे पूर्ण केले जाऊ शकते.
उपकरणे साधे धातूचे लक्ष्य जसे की Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, इ. किंवा SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, इ. सारख्या मिश्रित लक्ष्यांचा अवलंब करू शकतात.
उपकरणे आकाराने लहान, रचना डिझाइनमध्ये संक्षिप्त, मजल्यावरील क्षेत्रफळ लहान, ऊर्जा वापर कमी आणि समायोजनात लवचिक आहे.हे प्रक्रिया संशोधन आणि विकास किंवा लहान बॅच मोठ्या प्रमाणात उत्पादनासाठी अतिशय योग्य आहे.