आयन बीम असिस्टेड डिपॉझिशन तंत्रज्ञान

खरं तर, आयन बीम असिस्टेड डिपॉझिशन तंत्रज्ञान हे एक संमिश्र तंत्रज्ञान आहे.हे आयन इम्प्लांटेशन आणि फिजिकल वाफ डिपॉझिशन फिल्म टेक्नॉलॉजी आणि आयन बीम पृष्ठभाग ऑप्टिमायझेशन तंत्राचा एक नवीन प्रकार एकत्रित करणारे संयुक्त पृष्ठभाग आयन उपचार तंत्र आहे.भौतिक बाष्प जमा होण्याच्या फायद्यांव्यतिरिक्त, हे तंत्र अधिक कठोर नियंत्रण परिस्थितीत कोणतीही जाडीची फिल्म सतत वाढवू शकते, फिल्म लेयरची स्फटिकता आणि अभिमुखता अधिक लक्षणीयरीत्या सुधारू शकते, फिल्म लेयर/सबस्ट्रेटची चिकटपणा वाढवू शकते, घनता सुधारू शकते. फिल्म लेयरचे, आणि खोलीच्या तापमानात आणि दाबावर मिळू शकत नाहीत अशा नवीन प्रकारच्या फिल्म्ससह, जवळच्या खोलीच्या तपमानावर आदर्श स्टॉइचिओमेट्रिक गुणोत्तरांसह कंपाऊंड फिल्म्सचे संश्लेषण करा.आयन बीम असिस्टेड डिपॉझिशन केवळ आयन इम्प्लांटेशन प्रक्रियेचे फायदे राखून ठेवत नाही तर सब्सट्रेटपासून पूर्णपणे भिन्न फिल्मसह थर देखील कव्हर करू शकते.
सर्व प्रकारच्या भौतिक बाष्प निक्षेपण आणि रासायनिक वाष्प निक्षेपामध्ये, IBAD प्रणाली तयार करण्यासाठी सहायक बॉम्बर्डमेंट आयन गनचा एक संच जोडला जाऊ शकतो, आणि खालीलप्रमाणे दोन सामान्य IBAD प्रक्रिया आहेत, चित्रात दाखवल्याप्रमाणे:

Pic (a) मध्ये दाखवल्याप्रमाणे, आयन गनमधून उत्सर्जित होणाऱ्या आयन बीमसह फिल्म लेयरचे विकिरण करण्यासाठी इलेक्ट्रॉन बीम बाष्पीभवन स्त्रोताचा वापर केला जातो, अशा प्रकारे आयन बीम सहाय्यक निक्षेपण लक्षात येते.फायदा असा आहे की आयन बीमची ऊर्जा आणि दिशा समायोजित केली जाऊ शकते, परंतु बाष्पीभवन स्त्रोत म्हणून केवळ एक किंवा मर्यादित मिश्र धातु किंवा कंपाऊंडचा वापर केला जाऊ शकतो आणि मिश्रधातूच्या घटक आणि कंपाऊंडचा प्रत्येक बाष्प दाब वेगळा असतो, ज्यामुळे ते कठीण होते. मूळ बाष्पीभवन स्रोत रचना फिल्म स्तर प्राप्त करण्यासाठी.
Pic (b) आयन बीम स्पटरिंग-असिस्टेड डिपॉझिशन दाखवते, ज्याला डबल आयन बीम स्पटरिंग डिपॉझिशन असेही म्हणतात, ज्यामध्ये आयन बीम स्पटरिंग कोटिंग मटेरियलपासून बनवलेले लक्ष्य, स्पटरिंग उत्पादने स्त्रोत म्हणून वापरली जातात.ते सब्सट्रेटवर जमा करताना, आयन बीम स्पटरिंग सहाय्यक डिपॉझिशन दुसर्या आयन स्त्रोतासह विकिरणाने साध्य केले जाते.या पद्धतीचा फायदा असा आहे की थुंकलेल्या कणांमध्ये स्वतःला एक विशिष्ट ऊर्जा असते, त्यामुळे सब्सट्रेटसह अधिक चांगले चिकटते;लक्ष्याचा कोणताही घटक थुंकलेला कोटिंग असू शकतो, परंतु चित्रपटात प्रतिक्रिया थुंकणे देखील असू शकते, चित्रपटाची रचना समायोजित करणे सोपे आहे, परंतु त्याची जमा करण्याची कार्यक्षमता कमी आहे, लक्ष्य महाग आहे आणि निवडक स्पटरिंग सारख्या समस्या आहेत.