मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग आणि कॅथोडिक मल्टी-आर्क आयन कोटिंगचे संमिश्र कोटिंग उपकरणे स्वतंत्रपणे आणि एकाच वेळी कार्य करू शकतात;जमा केले जाऊ शकते आणि शुद्ध मेटल फिल्म, मेटल कंपाऊंड फिल्म किंवा संमिश्र फिल्म तयार केली जाऊ शकते;चित्रपटाचा एक स्तर आणि बहु-स्तर संमिश्र चित्रपट असू शकतो.
त्याचे फायदे खालीलप्रमाणे:
हे केवळ विविध आयन कोटिंग्जचे फायदे एकत्र करत नाही आणि अनुप्रयोगाच्या विविध क्षेत्रांसाठी पातळ फिल्म तयार करणे आणि जमा करणे लक्षात घेते, परंतु त्याच व्हॅक्यूममध्ये मल्टी-लेयर मोनोलिथिक फिल्म्स किंवा मल्टी-लेयर कंपोझिट फिल्म्स ठेवण्यास आणि तयार करण्यास देखील अनुमती देते. एका वेळी कोटिंग चेंबर.
डिपॉझिट केलेल्या फिल्म लेयर्सचे ऍप्लिकेशन्स मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात, त्याचे तंत्रज्ञान विविध स्वरूपात आहेत, खालीलप्रमाणे वैशिष्ट्यपूर्ण:
(1) समतोल नसलेल्या मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग आणि कॅथोडिक आयन प्लेटिंग तंत्रज्ञानाचे संयुग.
त्याचे डिव्हाइस खालीलप्रमाणे दर्शविले आहे.हे स्तंभीय मॅग्नेट्रॉन लक्ष्य आणि प्लॅनर कॅथोडिक आर्क आयन कोटिंगचे कंपाऊंड कोटिंग उपकरण आहे, जे टूल कोटिंग कंपाऊंड फिल्म आणि डेकोरेटिव्ह फिल्म कोटिंग या दोन्हीसाठी उपयुक्त आहे.टूल कोटिंगसाठी, कॅथोडिक आर्क आयन कोटिंगचा वापर प्रथम बेस लेयर कोटिंगसाठी केला जातो आणि नंतर कॉलम मॅग्नेट्रॉन टार्गेटचा वापर नायट्राइड आणि इतर फिल्म लेयर जमा करण्यासाठी उच्च-सुस्पष्टता प्रक्रिया साधन पृष्ठभाग फिल्म प्राप्त करण्यासाठी केला जातो.
सजावटीच्या कोटिंगसाठी, TiN आणि ZrN डेकोरेटिव्ह फिल्म्स प्रथम कॅथोडिक आर्क कोटिंगद्वारे जमा केल्या जाऊ शकतात आणि नंतर मॅग्नेट्रॉन लक्ष्यांचा वापर करून धातूसह डोप केले जाऊ शकतात आणि डोपिंग प्रभाव खूप चांगला आहे.
(2) ट्विन प्लेन मॅग्नेट्रॉन आणि कॉलम कॅथोड आर्क आयन कोटिंग तंत्रांचे संयुग.डिव्हाइस खालीलप्रमाणे दर्शविले आहे.हे प्रगत ट्विन लक्ष्य तंत्रज्ञान वापरले जाते, जेव्हा दोन शेजारी-बाय-साइड जुळे लक्ष्य मध्यम वारंवारता वीज पुरवठ्याशी जोडलेले असतात, तेव्हा ते केवळ डीसी स्पुटरिंग, आग आणि इतर दोषांच्या लक्ष्य विषबाधावर मात करते;आणि Al203, SiO2 ऑक्साइड दर्जाची फिल्म जमा करू शकते, जेणेकरून कोटेड भागांचा ऑक्सिडेशन प्रतिरोध वाढला आणि सुधारला.व्हॅक्यूम चेंबरच्या मध्यभागी स्तंभीय मल्टी-आर्क लक्ष्य स्थापित केले आहे, लक्ष्य सामग्री Ti आणि Zr वापरली जाऊ शकते, केवळ उच्च मल्टी-आर्क डिसॉसिएशन रेट, डिपॉझिशन रेटचे फायदे राखण्यासाठीच नाही तर प्रभावीपणे "थेंब" कमी करू शकतात. लहान प्लेन मल्टी-आर्क टार्गेट डिपॉझिशनची प्रक्रिया, मेटल फिल्म्स, कंपाऊंड फिल्म्सची कमी सच्छिद्रता जमा आणि तयार करू शकते.परिघावर स्थापित ट्विन प्लॅनर मॅग्नेट्रॉन लक्ष्यांसाठी लक्ष्य सामग्री म्हणून Al आणि Si वापरल्यास, Al203 किंवा Si0 धातू-सिरेमिक फिल्म्स जमा आणि तयार केल्या जाऊ शकतात.याव्यतिरिक्त, परिघावर मल्टी-आर्क बाष्पीभवन स्त्रोताची अनेक लहान विमाने स्थापित केली जाऊ शकतात आणि त्याचे लक्ष्य सामग्री Cr किंवा Ni असू शकते आणि मेटल फिल्म्स आणि मल्टीलेयर कंपोझिट फिल्म्स जमा आणि तयार केल्या जाऊ शकतात.म्हणून, हे संमिश्र कोटिंग तंत्रज्ञान एकाधिक अनुप्रयोगांसह एक संयुक्त कोटिंग तंत्रज्ञान आहे.
पोस्ट वेळ: नोव्हेंबर-08-2022