Peralatan ini menggunakan teknologi penyejatan rasuk elektron.Elektron dipancarkan daripada filamen katod dan difokuskan kepada arus rasuk tertentu, yang dipercepatkan oleh potensi antara katod dan pijar untuk mencairkan dan menyejat bahan salutan.Ia mempunyai ciri-ciri ketumpatan tenaga yang tinggi dan boleh menyejat bahan salutan dengan takat lebur lebih daripada 3000 ℃.Filem ini mempunyai ketulenan yang tinggi dan kecekapan haba yang tinggi.
Peralatan ini dilengkapi dengan sumber penyejatan rasuk elektron, sumber ion, sistem pemantauan ketebalan filem, struktur pembetulan ketebalan filem dan sistem putaran bahan kerja payung yang stabil.Melalui salutan bantuan sumber ion, kekompakan filem meningkat, indeks biasan distabilkan, dan fenomena peralihan panjang gelombang akibat kelembapan dielakkan.Sistem pemantauan masa nyata ketebalan filem automatik penuh boleh memastikan kebolehulangan dan kestabilan proses.Ia dilengkapi dengan fungsi peleburan sendiri untuk mengurangkan pergantungan kepada kemahiran pengendali.
Peralatan ini boleh digunakan untuk pelbagai oksida dan bahan salutan logam, dan boleh disalut dengan filem optik ketepatan berbilang lapisan, seperti filem AR, pas gelombang panjang, pas gelombang pendek, filem pencerah, filem AS / AF, IRCUT, sistem filem warna , sistem filem kecerunan, dsb. Ia telah digunakan secara meluas dalam cermin mata AR, kanta optik, kamera, kanta optik, penapis, industri semikonduktor, dsb.