Seperti yang kita sedia maklum, definisi semikonduktor ialah ia mempunyai kekonduksian antara konduktor kering dan penebat, kerintangan antara logam dan penebat, yang biasanya pada suhu bilik berada dalam julat 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, salutan semikonduktor vakum dalam syarikat semikonduktor utama, adalah jelas bahawa statusnya semakin tinggi, terutamanya dalam beberapa kaedah penyelidikan teknologi pembangunan litar sistem bersepadu berskala besar kepada peranti penukaran magnetoelektrik, peranti pemancar cahaya dan kerja pembangunan lain.Salutan semikonduktor vakum mempunyai peranan penting.
Semikonduktor dicirikan oleh ciri intrinsiknya, suhu dan kepekatan kekotoran.Bahan salutan semikonduktor vakum dibezakan antara satu sama lain terutamanya oleh sebatian konstituennya.Secara kasar semuanya berasaskan boron, karbon, silikon, germanium, arsenik, antimoni, tellurium, iodin, dsb., dan beberapa GaP, GaAs, lnSb, dsb. yang agak sedikit. Terdapat juga beberapa semikonduktor oksida, seperti FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, dsb.
Penyejatan vakum, salutan sputtering, salutan ion dan peralatan lain boleh melakukan salutan semikonduktor vakum.Peralatan salutan ini semuanya berbeza dalam prinsip kerjanya, tetapi semuanya membuat bahan salutan bahan semikonduktor didepositkan pada substrat, dan sebagai bahan substrat, tidak ada keperluan, ia boleh menjadi semikonduktor atau tidak.Selain itu, salutan dengan sifat elektrik dan optik yang berbeza boleh disediakan oleh kedua-dua resapan kekotoran dan implantasi ion pada permukaan substrat semikonduktor dalam julat.Lapisan nipis yang terhasil juga boleh diproses sebagai salutan semikonduktor secara umum.
Salutan semikonduktor vakum adalah kehadiran yang sangat diperlukan dalam elektronik sama ada untuk peranti aktif atau pasif.Dengan kemajuan berterusan teknologi salutan semikonduktor vakum, kawalan tepat prestasi filem telah menjadi mungkin.
Dalam tahun-tahun kebelakangan ini, salutan amorfus dan salutan polihabluran telah mencapai kemajuan pesat dalam pembuatan peranti fotokonduktif, tiub kesan medan bersalut, dan sel suria berkecekapan tinggi.Di samping itu, kerana pembangunan salutan semikonduktor vakum dan filem nipis penderia, yang juga mengurangkan dengan ketara kesukaran pemilihan bahan dan menjadikan proses pembuatan dipermudahkan secara beransur-ansur.Peralatan salutan semikonduktor vakum telah menjadi kehadiran yang diperlukan untuk aplikasi semikonduktor.Peralatan ini digunakan secara meluas untuk salutan semikonduktor peranti kamera, sel suria, transistor bersalut, pelepasan medan, cahaya katod, pelepasan elektron, unsur penderiaan filem nipis, dsb.
Garis salutan sputtering magnetron direka dengan sistem kawalan automatik sepenuhnya, antara muka mesin manusia-mesin skrin sentuh yang mudah dan intuitif.Talian direka bentuk dengan menu fungsi lengkap untuk mencapai pemantauan penuh status operasi untuk keseluruhan komponen barisan pengeluaran, penetapan parameter proses, perlindungan operasi dan fungsi penggera.Keseluruhan sistem kawalan elektrik adalah selamat, boleh dipercayai dan stabil.Dilengkapi dengan sasaran sputtering magnetron dua belah atas dan bawah atau sistem salutan satu sisi.
Peralatan ini digunakan terutamanya pada papan litar seramik, kapasitor voltan tinggi cip dan salutan substrat lain, kawasan aplikasi utama adalah papan litar elektronik.
Masa siaran: Nov-07-2022