Arka dawai panas yang dipertingkatkan teknologi pemendapan wap kimia plasma menggunakan pistol arka dawai panas untuk memancarkan plasma arka, disingkatkan sebagai teknologi PECVD arka dawai panas.Teknologi ini serupa dengan teknologi salutan ion pistol arka dawai panas, tetapi perbezaannya ialah filem pepejal yang diperolehi salutan ion pistol arka dawai panas menggunakan aliran elektron cahaya arka yang dipancarkan oleh pistol arka dawai panas untuk memanaskan dan menguap logam dalam pijar, manakala cahaya arka dawai panas PECVD disuap dengan gas tindak balas, seperti CH4 dan H2, yang digunakan untuk mendepositkan filem berlian.Dengan bergantung pada arus nyahcas arka berketumpatan tinggi yang dipancarkan oleh pistol arka dawai panas, ion gas reaktif teruja untuk mendapatkan pelbagai zarah aktif, termasuk ion gas, ion atom, kumpulan aktif, dan sebagainya.
Dalam peranti PECVD arka dawai panas, dua gegelung elektromagnet masih dipasang di luar bilik salutan, menyebabkan aliran elektron berketumpatan tinggi berputar semasa pergerakan ke arah anod, meningkatkan kebarangkalian perlanggaran dan pengionan antara aliran elektron dan gas tindak balas. .Gegelung elektromagnet juga boleh menumpu ke dalam lajur arka untuk meningkatkan ketumpatan plasma keseluruhan ruang pemendapan.Dalam plasma arka, ketumpatan zarah aktif ini adalah tinggi, menjadikannya lebih mudah untuk mendepositkan filem berlian dan lapisan filem lain pada bahan kerja.
——Artikel ini dikeluarkan oleh Guangdong Zhenhua Technology, apengeluar mesin salutan optik.
Masa siaran: Mei-05-2023