Proses salutan ion katod berongga

Proses salutan ion katod berongga adalah seperti berikut:

1、Letakkan jongkong Dagu ke dalam runtuh.

2、Memasang bahan kerja.

3、Selepas berpindah ke 5×10-3Pa, gas argon dimasukkan ke dalam ruang salutan dari tiub perak, dan paras vakum adalah sekitar 100Pa.

4、Hidupkan kuasa bias.

5、Selepas menghidupkan kuasa arka untuk menyalakan nyahcas katod berongga. Nyahcas cahaya dijana dalam tiub butang, Voltan nyahcas ialah 800~1000V, Arus menaikkan arka ialah 30~50A. Disebabkan oleh kesan cahaya katod berongga nyahcas,Ketumpatan arus nyahcas cahaya yang tinggi,Ketumpatan tinggi ion tikus dalam tiub perak mengebom dinding tiub vantage,Buat dinding tiub memanaskan badan dengan cepat kepada pelepasan aliran elektron, mod nyahcas daripada nyahcas cahaya berubah secara tiba-tiba kepada nyahcas arka, Voltan ialah 40~70V, Arus ialah 80~300A. Suhu tiub perak mencapai melebihi 2300K, Pijar, Mengeluarkan aliran elektron arka ketumpatan tinggi dari tiub, dan ditembak ke anod.

6、Pelarasan tahap vakum.Tahap vakum untuk nyahcas cahaya dari pistol katod berongga adalah kira-kira 100 Pa,Dan tahap salutan vakum ialah 8×10-1~2Pa.Oleh itu,Selepas pencucuhan nyahcas arka,Kurangkan argon yang masuk gas secepat mungkin, Laraskan aras vakum kepada julat yang sesuai untuk salutan.

7、Lapisan asas bersalut titanium. Aliran elektron ke jongkong logam Chin yang runtuh secara anodik, Penukaran tenaga kinetik kepada tenaga haba, Penyejatan logam Chin dengan pemanasan, Atom wap mencapai bahan kerja untuk membentuk filem titanium.

8、Pemendapan TiN. Gas nitrogen dibekalkan ke ruang salutan, Gas nitrogen dan atom tersejat diionkan menjadi ion nitrogen dan titanium. Di atas mangkuk pijar, Kebarangkalian lebih tinggi untuk perlanggaran tak kenyal bagi atom wap titanium dengan aliran tumpat elektron tenaga rendah, Kadar pemisahan logam adalah setinggi 20%~40%., Ion titanium lebih berkemungkinan bertindak balas secara kimia dengan gas nitrogen tindak balas, Pemendapan untuk mendapatkan lapisan filem mantel nitrida. Pistol katod berongga adalah kedua-dua sumber pengewapan，Sumber lain pengionan.Semasa salutan,Arus gegelung elektromagnet di sekeliling pijar juga harus dilaraskan,Fokuskan pancaran elektron ke pusat keruntuhan,Oleh itu, ketumpatan kuasa aliran elektron meningkat.

9、Matikan Kuasa.Selepas ketebalan filem mencapai ketebalan filem yang telah ditetapkan,Matikan bekalan kuasa arka、Bekalan kuasa berat sebelah dan bekalan udara.