Undang-undang pertumbuhan lapisan filem salutan penyejatan vakum

Semasa salutan penyejatan, nukleasi dan pertumbuhan lapisan filem adalah asas kepada pelbagai teknologi salutan ion

1.Nukleasi

Inteknologi salutan penyejatan vakum,selepas zarah lapisan filem disejat dari sumber penyejatan dalam bentuk atom, ia terbang terus ke bahan kerja dalam vakum tinggi dan membentuk lapisan filem melalui nukleasi dan pertumbuhan pada permukaan bahan kerja.Semasa penyejatan vakum, tenaga atom lapisan filem yang terlepas daripada sumber penyejatan adalah kira-kira 0.2eV.Apabila kohesi antara zarah lapisan filem lebih besar daripada daya ikatan antara atom lapisan filem dan bahan kerja, membentuk nukleus pulau.Atom lapisan filem tunggal kekal di permukaan bahan kerja untuk tempoh masa melakukan pergerakan tidak teratur, resapan, penghijrahan atau perlanggaran dengan atom lain untuk membentuk gugusan atom Bilangan atom dalam gugusan atom mencapai nilai kritikal tertentu, stabil nukleus terbentuk, dipanggil nukleus berbentuk homogen.

licin, dan mengandungi banyak kecacatan dan langkah, yang menyebabkan perbezaan dalam daya penjerapan bahagian yang berlainan bahan kerja kepada atom radioaktif.Tenaga penjerapan permukaan kecacatan adalah lebih besar daripada permukaan biasa, jadi ia menjadi pusat aktif, yang kondusif untuk nukleasi keutamaan, dipanggil nukleasi heterogen.Apabila daya kohesi adalah sama dengan daya pengikat, atau daya pengikatan antara atom membran dan bahan kerja lebih besar daripada daya kohesi antara atom membran, struktur lamellar terbentuk.Dalam teknologi penyaduran ion, teras pulau terbentuk dalam kebanyakan kes.

2.Pertumbuhan

Setelah teras filem terbentuk, ia terus berkembang dengan memerangkap atom kejadian.Pulau-pulau itu tumbuh dan bergabung antara satu sama lain untuk membentuk hemisfera yang lebih besar, secara beransur-ansur membentuk lapisan pulau hemisfera yang merebak ke atas permukaan bahan kerja.

Apabila tenaga atom lapisan filem adalah tinggi, ia boleh meresap secukupnya pada permukaan dan filem berterusan yang licin boleh terbentuk apabila gugusan atom yang masuk berikutnya adalah kecil. Jika resapan atom pada permukaan lemah dan saiz kelompok yang dimendapkan adalah besar, mereka wujud sebagai nukleus semenanjung yang besar. Bahagian atas teras pulau mempunyai kesan teduhan yang kuat pada bahagian cekung, iaitu "kesan bayang-bayang". Unjuran permukaan adalah lebih kondusif untuk menangkap atom termendap berikutnya. dan pertumbuhan keutamaan, mengakibatkan peningkatan tahap lekuk pada permukaan untuk membentuk kristal kon atau kolumnar dengan saiz yang mencukupi.Lompang penembusan terbentuk di antara hablur kon dan nilai kekasaran permukaan meningkat. Tisu halus boleh diperolehi pada vakum yang tinggi, dengan penurunan darjah vakum, struktur mikro membran menjadi lebih tebal dan lebih tebal.