Proses salutan ion sumber arka katodik pada asasnya adalah sama seperti teknologi salutan lain, dan beberapa operasi seperti memasang bahan kerja dan mengosongkan tidak lagi diulang.
1. Pembersihan pengeboman bahan kerja
Sebelum salutan, gas argon dimasukkan ke dalam ruang salutan dengan vakum 2×10-2Pa.
Hidupkan bekalan kuasa pincang nadi, dengan kitaran tugas 20% dan pincang bahan kerja 800-1000V.
Apabila kuasa arka dihidupkan, nyahcas cahaya arka medan sejuk dijana, yang mengeluarkan sejumlah besar arus elektron dan arus ion titanium dari sumber arka, membentuk plasma berketumpatan tinggi.Ion titanium mempercepatkan suntikannya ke dalam bahan kerja di bawah tekanan pincang tinggi negatif yang dikenakan pada bahan kerja, mengebom dan memercikkan sisa gas dan bahan pencemar yang terjerap pada permukaan bahan kerja, dan membersihkan dan menulenkan permukaan bahan kerja;Pada masa yang sama, gas klorin dalam ruang salutan diionkan oleh elektron, dan ion argon mempercepatkan pengeboman permukaan bahan kerja.
Oleh itu, kesan pembersihan pengeboman adalah baik.Hanya kira-kira 1 minit pembersihan pengeboman boleh membersihkan bahan kerja, yang dipanggil "pengeboman arka utama".Oleh kerana jisim ion titanium yang tinggi, jika sumber arka kecil digunakan untuk membedil dan membersihkan bahan kerja terlalu lama, suhu bahan kerja terdedah kepada terlalu panas, dan pinggir alat mungkin menjadi lembut.Dalam pengeluaran umum, sumber arka kecil dihidupkan satu demi satu dari atas ke bawah, dan setiap sumber arka kecil mempunyai masa pembersihan pengeboman kira-kira 1 minit.
（1）Salutan lapisan bawah titanium
Untuk meningkatkan lekatan antara filem dan substrat, lapisan substrat titanium tulen biasanya disalut sebelum salutan titanium nitrida.Laraskan aras vakum kepada 5×10-2-3×10-1Pa, laraskan voltan pincang bahan kerja kepada 400-500V, dan laraskan kitaran tugas bekalan kuasa pincang nadi kepada 40%~50%.Masih menyalakan sumber arka kecil satu demi satu untuk menghasilkan pelepasan arka medan sejuk.Disebabkan oleh penurunan voltan pincang negatif bahan kerja, tenaga ion titanium berkurangan.Selepas mencapai bahan kerja, kesan sputtering adalah kurang daripada kesan pemendapan, dan lapisan peralihan titanium terbentuk pada bahan kerja untuk meningkatkan daya ikatan antara lapisan filem keras titanium nitrida dan substrat.Proses ini juga merupakan proses memanaskan bahan kerja.Apabila sasaran titanium tulen dinyahcas, cahaya dalam plasma adalah biru biru.
1. salutan filem keras mangkuk berammoniasi
Laraskan darjah vakum kepada 3×10-1-5Pa, laraskan voltan pincang bahan kerja kepada 100-200V, dan laraskan kitaran tugas bekalan kuasa pincang nadi kepada 70%~80%.Selepas nitrogen diperkenalkan, titanium adalah tindak balas gabungan dengan plasma nyahcas arka untuk mendepositkan filem keras titanium nitrida.Pada ketika ini, cahaya plasma dalam ruang vakum berwarna merah ceri.Jika C2H2, O2, dsb. diperkenalkan, TiCN, TiO2, dsb. lapisan filem boleh diperolehi.
–Artikel ini dikeluarkan oleh Guangdong Zhenhua, apengeluar mesin salutan vakum
Masa siaran: Jun-01-2023