Apakah salutan sumber penyejatan rintangan?

Salutan sumber penyejatan rintangan adalah kaedah salutan sejatan vakum asas."Sejatan" merujuk kepada kaedah penyediaan filem nipis di mana bahan salutan dalam ruang vakum dipanaskan dan disejat, supaya atom atau molekul bahan mengewap dan melarikan diri dari permukaan, membentuk fenomena aliran wap, kejadian pada permukaan substrat atau substrat, dan akhirnya terpeluwap untuk membentuk filem pepejal.

Kaedah salutan sumber penyejatan rintangan yang dipanggil adalah dengan menggunakan tantalum, molibdenum, tungsten dan logam takat lebur tinggi yang lain untuk membuat bentuk sumber penyejatan yang sesuai, yang dimuatkan dengan bahan untuk disejat, biarkan udara mengalir melalui, terus panas dan sejatkan bahan yang tersejat, atau masukkan bahan yang hendak disejat ke dalam alumina, berilium oksida dan mangkuk pijar lain untuk pemanasan dan penyejatan tidak langsung.Ini adalah kaedah penyejatan pemanasan rintangan.

Themesin salutan penyejatan vakumdipanaskan dan disejat oleh pemanas rintangan mempunyai kelebihan struktur mudah, kos rendah dan penggunaan yang boleh dipercayai.Ia boleh digunakan untuk salutan penyejatan bahan dengan takat lebur rendah, terutamanya untuk pengeluaran besar-besaran dengan keperluan rendah untuk kualiti salutan.Setakat ini, masih terdapat sebilangan besar proses salutan pemanasan rintangan dan penyejatan yang digunakan dalam pengeluaran cermin aluminized.

Kelemahan kaedah salutan penyejatan sumber penyejatan rintangan ialah suhu maksimum yang boleh dicapai dengan pemanasan adalah terhad, dan hayat perkhidmatan pemanas juga pendek.Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, untuk meningkatkan hayat sumber penyejatan rintangan, kilang peralatan telah menggunakan bahan seramik konduktif yang disintesis oleh boron nitrida dengan jangka hayat yang panjang sebagai sumber penyejatan.Menurut laporan paten Jepun, ia boleh menggunakan bahan yang terdiri daripada 20%~30% boron nitrida dan bahan refraktori yang boleh digabungkan dengannya untuk membuat sumber penyejatan (crucible), dan menyalut permukaannya dengan lapisan zirkonium yang mengandungi 62% ~ 82%, dan selebihnya adalah bahan aloi zirkonium-silikon.