RCW600

Siri peralatan ini menggunakan sasaran magnetron untuk menukar bahan salutan kepada zarah bersaiz nanometer, yang dimendapkan pada permukaan substrat untuk membentuk filem nipis.Filem yang digulung diletakkan di dalam kebuk vakum.Melalui struktur penggulungan elektrik, satu hujung menerima filem dan satu lagi meletakkan filem.Ia terus melalui kawasan sasaran dan menerima zarah sasaran untuk membentuk filem padat.
Ciri:

1. Pembentukan filem suhu rendah.Suhu mempunyai sedikit kesan pada filem dan tidak akan menghasilkan ubah bentuk.Ia sesuai untuk PET, PI dan filem gegelung bahan asas lain.
2. Ketebalan filem boleh direka bentuk.Salutan nipis atau tebal boleh direka bentuk dan disimpan melalui pelarasan proses.
3. Reka bentuk lokasi sasaran berbilang, proses yang fleksibel.Keseluruhan mesin boleh dilengkapi dengan lapan sasaran, yang boleh digunakan sebagai sasaran logam mudah atau sasaran kompaun dan oksida.Ia boleh digunakan untuk menyediakan filem satu lapisan dengan struktur tunggal atau filem berbilang lapisan dengan struktur komposit.Prosesnya sangat fleksibel.

Peralatan ini boleh menyediakan filem perisai elektromagnet, salutan papan litar fleksibel, pelbagai filem dielektrik, filem antipantulan AR berbilang lapisan, filem antipantulan tinggi HR, filem warna, dan lain-lain. Peralatan mempunyai pelbagai aplikasi yang sangat luas, dan pemendapan filem satu lapisan. boleh diselesaikan dengan pemendapan filem sekali sahaja.
Peralatan boleh menggunakan sasaran logam mudah seperti Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, dsb., atau sasaran kompaun seperti SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, dsb.

Peralatan ini bersaiz kecil, padat dalam reka bentuk struktur, kecil di kawasan lantai, penggunaan tenaga yang rendah, dan fleksibel dalam pelarasan.Ia sangat sesuai untuk penyelidikan dan pembangunan proses atau pengeluaran besar-besaran kelompok kecil.