GX600

It-tagħmir jadotta struttura vertikali tal-bieb ta 'quddiem u tqassim tal-cluster.Jista 'jkun mgħammar b'sorsi ta' evaporazzjoni għal metalli u materjali organiċi varji, u jista 'jevapora wejfers tas-silikon ta' speċifikazzjonijiet varji.Mgħammar b'sistema ta 'allinjament ta' preċiżjoni, il-kisi huwa stabbli u l-kisi għandu ripetibbiltà tajba.
It-tagħmir tal-kisi GX600 jista 'jevapora b'mod preċiż, indaqs u kontrollabbli materjali organiċi li jarmu d-dawl jew materjali tal-metall fuq is-sottostrat.Għandu l-vantaġġi ta 'formazzjoni ta' film sempliċi, purità għolja u kompattezza għolja.Is-sistema ta 'monitoraġġ fil-ħin reali tal-ħxuna tal-film kompletament awtomatika tista' tiżgura r-ripetibbiltà u l-istabbiltà tal-proċess.Huwa mgħammar b'funzjoni li tidwib lilu nnifsu biex tnaqqas id-dipendenza fuq il-ħiliet tal-operatur.
It-tagħmir jista 'jiġi applikat għal Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti u materjali oħra tal-metall, u jista' jkun miksi b'film tal-metall, film ta 'saff dielettriku, film IMD, eċċ huwa prinċipalment użat fis-semikondutturi industrija, bħal tagħmir ta 'l-enerġija, kisi tas-sottostrat ta' l-ippakkjar ta 'wara ta' semikondutturi, eċċ.