Il-linja tal-kisi tadotta struttura modulari, li tista 'żżid il-kamra skont ir-rekwiżiti tal-proċess u l-effiċjenza, u tista' tkun miksija fuq iż-żewġ naħat, li hija flessibbli u konvenjenti.Mgħammar b'sistema ta 'tindif tal-jone, sistema ta' tisħin rapida u sistema ta 'sputtering DC magnetron, tista' tiddepożita b'mod effiċjenti kisi sempliċi tal-metall.It-tagħmir għandu taħbit mgħaġġel, kklampjar konvenjenti u effiċjenza għolja.
Il-linja tal-kisi hija mgħammra b'tindif tal-jone u sistema ta 'ħami f'temperatura għolja, għalhekk l-adeżjoni tal-film depożitat hija aħjar.L-angolu żgħir sputtering b'mira li ddur hija favorevoli għad-depożizzjoni ta 'film fuq il-wiċċ ta' ġewwa ta 'apertura żgħira.
1. It-tagħmir għandu struttura kompatta u art żgħira.
2. Is-sistema tal-vakwu hija mgħammra b'pompa molekulari għall-estrazzjoni tal-arja, b'konsum baxx ta 'enerġija.
3. Ir-ritorn awtomatiku tar-rack tal-materjal jiffranka l-ħaddiema.
4. Il-parametri tal-proċess jistgħu jiġu rintraċċati, u l-proċess ta 'produzzjoni jista' jiġi mmonitorjat fil-proċess kollu biex jiffaċilita r-rintraċċar tad-difetti tal-produzzjoni.
5. Il-linja tal-kisi għandha grad għoli ta 'awtomazzjoni.Jista 'jintuża mal-manipulatur biex jgħaqqad il-proċessi ta' quddiem u ta 'wara u jnaqqas l-ispiża tax-xogħol.
Jista 'jissostitwixxi l-istampar tal-pejst tal-fidda fil-proċess tal-manifattura tal-kapaċitatur, b'effiċjenza ogħla u spiża aktar baxxa.
Huwa applikabbli għal Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn u metalli sempliċi oħra.Ġie użat ħafna f'komponenti elettroniċi semikondutturi, bħal sottostrati taċ-ċeramika, capacitors taċ-ċeramika, appoġġi taċ-ċeramika mmexxija, eċċ.