1) Il-miri ċilindriċi għandhom rata ta 'utilizzazzjoni Ogħla minn miri planari.Fil-proċess tal-kisi, kemm jekk huwa tip manjetiku li jdur jew mira ta 'sputtering ċilindriku tat-tip ta' tubu li jdur, il-partijiet kollha tal-wiċċ tat-tubu fil-mira kontinwament jgħaddu miż-żona ta 'sputtering ġġenerata quddiem il-kalamita permanenti biex tirċievi katodu sputtering, u l- mira tista 'tiġi nċiżi b'mod uniformi sputtered, u r-rata ta' utilizzazzjoni tal-mira hija għolja.Ir-rata ta 'utilizzazzjoni tal-materjali fil-mira hija madwar 80% ~ 90%.
2) Il-miri ċilindriċi mhux faċli li jipproduċu "avvelenament fil-mira".Matul il-proċess tal-kisi, il-wiċċ tat-tubu fil-mira huwa dejjem sputtered u nċiżi minn joni, u mhux faċli li jakkumulaw ossidi ħoxnin u films iżolanti oħra fuq il-wiċċ, u mhux faċli li tipproduċi "avvelenament fil-mira".
3) L-istruttura tal-mira ta 'sputtering ċilindrika tat-tip ta' tubu tal-mira rotanti hija sempliċi u faċli biex tinstalla.
4) Il-materjal tat-tubu ċilindriku fil-mira għandu diversi tipi.mira planari b'tkessiħ dirett ta 'l-ilma fil-mira tal-metall, u xi wħud ma jistgħux jiġu pproċessati u ffurmati miri ċilindriċi, bħal mira In2-SnO2, eċċ b'materjal ta' trab għall-ippressar iżostatiku sħun biex jinkisbu miri bħal pjanċa, minħabba li d-daqs ma jistax isir kbar, u fraġli, għalhekk huwa meħtieġ li tuża metodu tal-ibbrejżjar u backplate tar-ram biex tintegra u mbagħad tinstalla fuq il-bażi tal-mira.Minbarra l-pajpijiet tal-metall, miri kolonni jistgħu wkoll jiġu sprejjati fuq il-wiċċ ta 'pajpijiet ta' l-istainless steel b'diversi materjali li jeħtieġ li jiġu miksija, bħal Si, Cr, eċċ.
Fil-preżent, il-proporzjon ta 'miri ċilindriċi għall-kisi fil-produzzjoni industrijali qed jiżdied.Miri ċilindriċi mhux biss jużaw għall-magna tal-kisi vertikali iżda wkoll jużaw fil-magna tal-kisi roll to roll.F'dawn l-aħħar snin, il-miri tewmin planari jiġu sostitwiti gradwalment bil-miri tewmin Ċilindriċi.
——Dan l-artikolu ġie rilaxxat minn Guangdong Zhenhua Technology, amanifattur tal-magni tal-kisi ottiku.
Ħin tal-post: Mejju-11-2023