1. Il-preġudizzju tal-biċċa tax-xogħol huwa baxx
Minħabba ż-żieda ta 'apparat biex tiżdied ir-rata ta' jonizzazzjoni, id-densità tal-kurrent tal-iskarigu tiżdied, u l-vultaġġ tal-preġudizzju jitnaqqas għal 0.5 ~ 1kV.
Il-backsputtering ikkawżat minn bumbardament eċċessiv ta 'joni ta' enerġija għolja u l-effett tal-ħsara fuq il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol huma mnaqqsa.
2. Żieda fid-densità tal-plażma
Ġew miżjuda diversi miżuri biex jippromwovu l-jonizzazzjoni tal-ħabta, u r-rata ta 'jonizzazzjoni tal-metall żdiedet minn 3% għal aktar minn 15%.Id-densità tal-joni tal-geddum u atomi newtrali ta 'enerġija għolja, joni tan-nitroġenu, atomi attivi ta' enerġija għolja u gruppi attivi fil-kamra tal-kisi tiżdied, li twassal għar-reazzjoni biex jiffurmaw komposti.Id-diversi teknoloġiji mtejba ta 'kisi tal-jone ta' discharge glow ta 'hawn fuq setgħu jiksbu saffi ta' film iebes TN permezz ta 'depożizzjoni ta' reazzjoni f'densitajiet ogħla ta 'plażma, iżda minħabba li jappartjenu għat-tip ta' discharge glow, id-densità tal-kurrent ta 'discharge mhix għolja biżżejjed (għadu livell mA / cm2 ), u d-densità ġenerali tal-plażma mhix għolja biżżejjed, u l-proċess ta 'kisi kompost ta' depożizzjoni ta 'reazzjoni huwa diffiċli.
3. Il-firxa tal-kisi tas-sors tal-evaporazzjoni tal-punt hija żgħira
Diversi teknoloġiji mtejba ta 'kisi tal-jone jużaw sorsi ta' evaporazzjoni tar-raġġ tal-elettroni, u gantu bħala sors ta 'evaporazzjoni punt, li huwa limitat għal ċertu intervall 'il fuq minn gantu għal depożizzjoni ta' reazzjoni, għalhekk il-produttività hija baxxa, il-proċess huwa diffiċli, u huwa diffiċli li tiġi industrijalizzata.
4. Pistola elettronika operazzjoni bi pressjoni għolja
Il-vultaġġ tal-kanun tal-elettroni huwa 6 ~ 30kV, u l-vultaġġ tal-preġudizzju tal-biċċa tax-xogħol huwa 0.5 ~ 3kV, li jappartjeni għal tħaddim ta 'vultaġġ għoli u għandu ċerti perikli għas-sigurtà.
——Dan l-artikolu ġie rilaxxat minn Guangdong Zhenhua Technology, amanifattur tal-magni tal-kisi ottiku.
Ħin tal-post: Mejju-12-2023