It-teknoloġija ta 'depożizzjoni tal-fwar kimiku tal-plażma msaħħa bl-ark tal-wajer sħun tuża l-pistola tal-ark tal-wajer sħun biex temetti plażma bl-ark, imqassra bħala t-teknoloġija PECVD tal-ark tal-wajer sħun.Din it-teknoloġija hija simili għat-teknoloġija tal-kisi tal-jone tal-ark tal-kanun tal-wajer sħun, iżda d-differenza hija li l-film solidu miksub permezz tal-kisi tal-jone tal-kanun tal-ark tal-wajer sħun juża l-fluss tal-elettroni tad-dawl tal-ark emess mill-pistola tal-ark tal-wajer sħun biex issaħħan u jevapora l-metall f' il-griġjol, filwaqt li d-dawl ta 'l-ark tal-wajer sħun PECVD jiġi mitmugħ b'gassijiet ta' reazzjoni, bħal CH4 u H2, li jintużaw għad-depożitu ta 'films tad-djamanti.Billi tiddependi fuq il-kurrent ta 'skariku ta' l-ark ta 'densità għolja emess mill-pistola ta' l-ark tal-wajer sħun, il-jonji tal-gass reattivi huma eċċitati biex jiksbu diversi partiċelli attivi, inklużi joni tal-gass, joni atomiċi, gruppi attivi, eċċ.
Fl-apparat PECVD tal-ark tal-wajer sħun, żewġ kolji elettromanjetiċi għadhom installati barra l-kamra tal-kisi, u jikkawżaw li l-fluss tal-elettroni ta 'densità għolja jdur waqt il-moviment lejn l-anodu, u jżid il-probabbiltà ta' ħabta u jonizzazzjoni bejn il-fluss tal-elettroni u l-gass ta 'reazzjoni .Il-coil elettromanjetiku jista 'wkoll jikkonverġi f'kolonna ta' l-ark biex iżżid id-densità tal-plażma tal-kamra tad-depożizzjoni kollha.Fil-plażma tal-ark, id-densità ta 'dawn il-partiċelli attivi hija għolja, u tagħmilha aktar faċli biex jiġu depożitati films tad-djamanti u saffi oħra tal-film fuq il-biċċa tax-xogħol.
——Dan l-artikolu ġie rilaxxat minn Guangdong Zhenhua Technology, amanifattur tal-magni tal-kisi ottiku.
Ħin tal-post: Mejju-05-2023