Introduzzjoni għal Tekniki Konvenzjonali għad-Depożitu ta' Kisi iebes

1. Teknoloġija CVD termali

Kisjiet iebes huma l-aktar kisjiet taċ-ċeramika tal-metall (TiN, eċċ.), Li huma ffurmati mir-reazzjoni tal-metall fil-kisi u gassifikazzjoni reattiva.Għall-ewwel, it-teknoloġija CVD termali ntużat biex tipprovdi l-enerġija ta 'attivazzjoni ta' reazzjoni ta 'kombinazzjoni b'enerġija termali f'temperatura għolja ta' 1000 ℃.Din it-temperatura hija adattata biss għad-depożitu tat-TiN u kisi iebes ieħor fuq għodod tal-karbur tas-siment.S'issa, għadha teknoloġija importanti li tiddepożita kisjiet komposti TiN-Al20 fuq kapijiet ta 'għodda tal-karbur tas-siment.

2. Kisi tal-jone tal-katodu vojt u kisi tal-jone tal-ark tal-wajer sħun

Fis-snin tmenin, intużaw kisi tal-jone tal-katodu vojt u kisi tal-jone tal-ark tal-wajer sħun biex jiddepożitaw għodod tal-qtugħ miksija.Dawn iż-żewġ teknoloġiji tal-kisi tal-jone huma teknoloġiji tal-kisi tal-joni tal-iskarigu tal-ark, b'rata ta 'jonizzazzjoni tal-metall sa 20% ~ 40%.

3. Kisi tal-jone tal-ark tal-katodu

L-emerġenza tal-kisi tal-jone tal-ark katodiku wassal għall-iżvilupp tat-teknoloġija tad-depożitu ta 'kisi iebes fuq forom.Ir-rata ta 'jonizzazzjoni tal-kisi tal-jone tal-ark katodiku hija ta' 60% ~ 90%, li tippermetti li numru kbir ta 'jonji tal-metall u joni tal-gass ta' reazzjoni jilħqu l-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol u xorta jżommu attività għolja, li tirriżulta f'depożizzjoni ta 'reazzjoni u formazzjoni ta' kisjiet iebes bħal TiN.Fil-preżent, it-teknoloġija tal-kisi tal-jone tal-ark katodiku tintuża prinċipalment biex tiddepożita kisi iebes fuq forom.

Is-sors tal-ark tal-katodu huwa sors ta 'evaporazzjoni fi stat solidu mingħajr pool imdewweb fiss, u l-pożizzjoni tas-sors tal-ark tista' titqiegħed b'mod arbitrarju, ittejjeb ir-rata ta 'utilizzazzjoni tal-ispazju tal-kamra tal-kisi u żżid il-kapaċità tat-tagħbija tal-forn.Il-forom tas-sorsi tal-ark tal-katodu jinkludu sorsi żgħar tal-ark tal-katodu ċirkolari, sorsi tal-ark tal-kolonni, u sorsi tal-ark kbar ċatti rettangolari.Komponenti differenti ta 'sorsi ta' ark żgħar, sorsi ta 'ark kolonnari, u sorsi ta' ark kbar jistgħu jiġu rranġati separatament biex jiddepożitaw films b'ħafna saffi u films nano b'ħafna saffi.Sadanittant, minħabba r-rata għolja ta 'jonizzazzjoni tal-metall tal-kisi tal-jone tal-ark katodiku, joni tal-metall jistgħu jassorbu aktar gassijiet ta' reazzjoni, li jirriżultaw f'firxa wiesgħa ta 'proċess u tħaddim sempliċi biex jiksbu kisjiet iebes eċċellenti.Madankollu, hemm qtar oħxon fil-mikrostruttura tas-saff tal-kisi miksub bil-kisi tal-jone tal-ark katodiku.F'dawn l-aħħar snin, ħarġu ħafna teknoloġiji ġodda biex jirfinaw l-istruttura tas-saff tal-film, li tejbet il-kwalità tal-film tal-kisi tal-jone tal-ark.

——Dan l-artikolu ġie rilaxxat minn Guangdong Zhenhua Technology, amanifattur tal-magni tal-kisi ottiku.