Proċess ta 'polimerizzazzjoni diretta tal-plażma
Il-proċess tal-polimerizzazzjoni tal-Plażma huwa relattivament sempliċi kemm għat-tagħmir tal-polimerizzazzjoni tal-elettrodu intern kif ukoll għat-tagħmir tal-polimerizzazzjoni tal-elettrodu estern, iżda l-għażla tal-parametri hija aktar importanti fil-polimerizzazzjoni tal-Plażma, minħabba li l-parametri għandhom impatt akbar fuq l-istruttura u l-prestazzjoni tal-films tal-polimer waqt il-polimerizzazzjoni tal-Plażma.
Il-passi tat-tħaddim għall-polimerizzazzjoni diretta tal-plażma huma kif ġej:
(1) Vacuuming
Il-vakwu fl-isfond tal-polimerizzazzjoni taħt kundizzjonijiet tal-vakwu għandu jiġi ppumpjat għal 1.3 × 10-1Pa.Għal reazzjonijiet ta 'polimerizzazzjoni li jeħtieġu rekwiżiti speċjali għall-kontroll tal-kontenut ta' ossiġnu jew nitroġenu, ir-rekwiżit tal-vakwu fl-isfond huwa saħansitra ogħla.
(2) Iċċarġja monomeru ta 'reazzjoni jew gass imħallat ta' gass trasportatur u monomeru
Il-grad tal-vakwu huwa 13-130Pa.Għall-polimerizzazzjoni tal-Plasma li teħtieġ xogħol, għandhom jintgħażlu mod ta 'kontroll tal-fluss u rata tal-fluss xierqa, ġeneralment 10.100mL/min.Fil-plażma, il-molekuli tal-monomeru huma jonizzati u dissoċjati bil-bumbardament ta 'partiċelli enerġetiċi, li jirriżultaw f'partiċelli attivi bħal joni u ġeni attivi.Il-partiċelli attivi attivati mill-plażma jistgħu jgħaddu minn polimerizzazzjoni tal-Plażma fl-interface tal-fażi tal-gass u l-fażi solida.Il-monomeru huwa s-sors ta 'prekursur għall-polimerizzazzjoni tal-Plażma, u l-gass ta' reazzjoni tad-dħul u l-monomeru għandu jkollhom ċerta purità.
(3) Għażla tal-provvista ta 'enerġija ta' eċċitazzjoni
Il-plażma tista 'tiġi ġġenerata bl-użu ta' sorsi ta 'enerġija DC, ta' frekwenza għolja, RF jew microwave biex jipprovdu ambjent ta 'plażma għall-polimerizzazzjoni.L-għażla tal-provvista tal-enerġija hija determinata abbażi tar-rekwiżiti għall-istruttura u l-prestazzjoni tal-polimeru.
(4) Għażla tal-mod ta 'kwittanza
Għar-rekwiżiti tal-polimeru, il-polimerizzazzjoni tal-plażma tista 'tagħżel żewġ modi ta' skarigu: skarigu kontinwu jew skariku tal-polz.
(5) Għażla tal-parametri tal-iskarigu
Meta ssir polimerizzazzjoni tal-Plażma, il-parametri tal-iskariku jeħtieġ li jiġu kkunsidrati mill-parametri tal-plażma, il-proprjetajiet tal-polimeru u r-rekwiżiti tal-istruttura.Il-kobor tal-qawwa applikata matul il-polimerizzazzjoni hija determinata mill-volum tal-kamra tal-vakwu, id-daqs tal-elettrodu, ir-rata u l-istruttura tal-fluss tal-monomeru, ir-rata ta 'polimerizzazzjoni, u l-istruttura u l-prestazzjoni tal-polimeru.Pereżempju, jekk il-volum tal-kamra tar-reazzjoni huwa 1L u l-polimerizzazzjoni tal-plażma RF tiġi adottata, il-qawwa tal-iskarika tkun fil-medda ta '10 ~ 30W.Taħt kundizzjonijiet bħal dawn, il-plażma ġġenerata tista 'taggrega biex tifforma film irqiq fuq il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol.Ir-rata tat-tkabbir tal-film tal-polimerizzazzjoni tal-Plażma tvarja skont il-provvista tal-enerġija, it-tip ta 'monomeru u r-rata tal-fluss, u l-kundizzjonijiet tal-proċess.Ġeneralment, ir-rata tat-tkabbir hija 100nm/min ~ 1um/min.
(6) Kejl tal-parametri fil-polimerizzazzjoni tal-Plażma
Il-parametri tal-plażma u l-parametri tal-proċess li għandhom jitkejlu fil-polimerizzazzjoni tal-Plażma jinkludu: vultaġġ ta 'skarigu, kurrent ta' skarigu, frekwenza ta 'skarika, temperatura tal-elettroni, densità, tip u konċentrazzjoni ta' grupp ta 'reazzjoni, eċċ.
——Dan l-artikolu ġie rilaxxat minn Guangdong Zhenhua Technology, amanifattur tal-magni tal-kisi ottiku.
Ħin tal-post: Mejju-05-2023