Proċess ta 'kisi tal-jone tal-katodu vojt

Il-proċess tal-kisi tal-jone tal-katodu vojt huwa kif ġej:

1、Put Chin ingotti fil-kollass.

2、Mounting tal-biċċa tax-xogħol.

3、wara l-evakwazzjoni għal 5 × 10-3Pa, gass argon huwa introdott fil-kamra tal-kisi mit-tubu tal-fidda, u l-livell tal-vakwu huwa madwar 100Pa.

4、Turn fuq il-potenza bias.

5、Wara li tixgħel il-qawwa tal-ark biex taqbad il-ħruġ tal-katodu vojt. L-iskariku tal-katodu vojt huwa ġġenerat fit-tubu tal-buttuna, Il-vultaġġ tal-iskariku huwa 800 ~ 1000V, Il-kurrent li jgħolli l-ark huwa 30 ~ 50A. Minħabba l-effett tal-katodu vojt tad-dawl. skarigu,Densità għolja tal-kurrent ta 'discharge glow,Id-densità għolja ta' joni tal-firien fit-tubu tal-fidda jibbumbardja l-ħajt tat-tubu vantage,Agħmel il-ħajt tat-tubu jisħon malajr għall-emissjoni tal-fluss tal-elettroni, il-mod ta 'skarika mill-iskarigu glow bidla f'daqqa għal skarigu ta 'ark,Vultaġġ huwa 40 ~ 70V,Kurrent huwa 80 ~ 300A. It-temperatura tat-tubu tal-fidda tilħaq 'il fuq minn 2300K,Inkandexxenti,Jarmi fluss ta' densità għolja ta 'elettroni ta' l-ark mit-tubu, u sparat lejn l-anodu.

6、Aġġustament tal-livell tal-vakwu. Il-livell tal-vakwu għall-iskariku li jkandi minn pistola katodu vojta huwa ta 'madwar 100 Pa, U l-grad tal-vakwu tal-kisi huwa 8 × 10-1 ~ 2Pa. Għalhekk, Wara t-tqabbid tal-iskariku tal-ark, Naqqas l-argon li jkun dieħel gass ​​kemm jista 'jkun malajr,Aġġusta l-livell tal-vakwu għal firxa adattata għall-kisi.

7、Titanium plated base layer.Electron flow fuq l-ingott tal-metall Chin anodically kollass, Konverżjoni ta 'enerġija kinetika għal enerġija termali, Evaporazzjoni tal-metall Chin bit-tisħin, Atomi tal-fwar jilħqu l-biċċa tax-xogħol biex jiffurmaw film tat-titanju.

8、Deposizzjoni ta 'TiN.Gass tan-nitroġenu huwa fornut lill-kamra tal-kisi, Il-gass tan-nitroġenu u l-atomi evaporati huma jonizzati f'joni tan-nitroġenu u tat-titanju. Fuq il-griġjol, Probabbiltà ogħla ta' kolliżjonijiet inelastiċi ta 'atomi tal-fwar tat-titanju b'flussi densi ta' elettroni b'enerġija baxxa, Ir-rata ta' dissoċjazzjoni tal-metall hija għolja daqs 20% ~ 40%.,Ionji tat-titanju huma aktar probabbli li jirreaġixxu kimikament man-nitroġenu tal-gass ta 'reazzjoni,Depożizzjoni biex tikseb saff ta' film tal-mant tan-nitrur. Il-pistola tal-katodu vojta hija kemm sors ta 'vaporizzazzjoni, Sors ieħor ta 'jonizzazzjoni.Matul il-kisi,Il-kurrent tal-coil elettromanjetiku madwar il-griġjol għandu wkoll jiġi aġġustat,Ffoka r-raġġ tal-elettroni fuq iċ-ċentru tal-kollass, Għalhekk, id-densità tal-qawwa tal-fluss tal-elettroni tiżdied.

9、Power Off.After il-ħxuna tal-film tilħaq il-ħxuna tal-film predeterminata, Itfi l-provvista tal-enerġija tal-ark、Provvista tal-enerġija bias u provvista tal-arja.