Karatteristiċi tekniċi tal-kisi tal-evaporazzjoni bil-vakwu

1. Il-kisi ta 'evaporazzjoni bil-vakwuproċess jinkludi l-evaporazzjoni ta 'materjali tal-film, it-trasport ta' atomi tal-fwar f'vakwu għoli, u l-proċess ta 'nukleazzjoni u tkabbir ta' atomi tal-fwar fuq il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol.

2. Il-grad tal-vakwu tad-depożizzjoni tal-kisi tal-evaporazzjoni bil-vakwu huwa għoli, ġeneralment 10-510^-3Pa. Il-mogħdija ħielsa tal-molekuli tal-gass hija ordni ta 'kobor ta' 1 ~ 10m, li hija ħafna akbar mid-distanza mis-sors tal-evaporazzjoni sal-biċċa tax-xogħol, din id-distanza tissejjaħ id-distanza tal-evaporazzjoni, ġeneralment 300 ~ 800mm.Il-partiċelli tal-kisi bilkemm jaħbtu ma 'molekuli tal-gass u atomi tal-fwar u jilħqu l-biċċa tax-xogħol.

3. Is-saff tal-kisi tal-evaporazzjoni bil-vakwu mhuwiex kisi tal-feriti, u l-atomi tal-fwar imorru dritti għall-biċċa tax-xogħol taħt vakwu għoli.In-naħa li tħares lejn is-sors ta 'evaporazzjoni fuq il-biċċa tax-xogħol biss tista' tikseb is-saff tal-film, u l-ġenb u d-dahar tal-biċċa tax-xogħol ma tantx jistgħu jiksbu s-saff tal-film, u s-saff tal-film għandu kisi fqir.

4. L-enerġija tal-partiċelli tas-saff tal-kisi tal-evaporazzjoni bil-vakwu hija baxxa, u l-enerġija li tilħaq il-biċċa tax-xogħol hija l-enerġija tas-sħana li tinġarr mill-evaporazzjoni.Peress li l-biċċa tax-xogħol mhix preġudikata waqt il-kisi tal-evaporazzjoni bil-vakwu, l-atomi tal-metall jiddependu biss fuq is-sħana tal-vaporizzazzjoni waqt l-evaporazzjoni, it-temperatura tal-evaporazzjoni hija 1000 ~ 2000 °C, u l-enerġija li tinġarr hija ekwivalenti għal 0.1 ~ 0.2eV, għalhekk l-enerġija ta ' il-partiċelli tal-film huwa baxx, il-forza tat-twaħħil bejn is-saff tal-film u l-matriċi hija żgħira, u huwa diffiċli li tifforma kisi kompost.

5. Is-saff tal-kisi tal-evaporazzjoni bil-vakwu għandu struttura fina.Il-proċess tal-kisi tal-evaporazzjoni bil-vakwu huwa ffurmat taħt vakwu għoli, u l-partiċelli tal-film fil-fwar huma bażikament skala atomika, li jiffurmaw qalba fina fuq il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol.