Il-Proċess tal-Kisi tal-Ion tas-Sors ta 'Ark Żgħar

Il-proċess tal-kisi tal-jone tas-sors tal-ark katodiku huwa bażikament l-istess bħal teknoloġiji oħra tal-kisi, u xi operazzjonijiet bħall-installazzjoni ta 'biċċiet tax-xogħol u vacuuming m'għadhomx ripetuti.

1.Tindif tal-bombi tal-biċċiet tax-xogħol

Qabel il-kisi, il-gass argon jiġi introdott fil-kamra tal-kisi b'vakwu ta '2 × 10-2Pa.

Ixgħel il-provvista tal-enerġija tal-polz bias, b'ċiklu ta 'dazju ta' 20% u bias tal-biċċa tax-xogħol ta '800-1000V.

Meta l-qawwa tal-ark tinxtegħel, tiġi ġġenerata skariku tad-dawl tal-ark tal-kamp kiesaħ, li jarmi ammont kbir ta 'kurrent tal-elettroni u kurrent tal-jone tat-titanju mis-sors tal-ark, li jifforma plażma ta' densità għolja.Il-jone tat-titanju jaċċellera l-injezzjoni tiegħu fil-biċċa tax-xogħol taħt il-pressjoni negattiva għolja ta 'polarizzazzjoni applikata għall-biċċa tax-xogħol, bombarding u sputtering il-gass residwu u sustanzi li jniġġsu adsorbiti fuq il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol, u tindif u purifikazzjoni tal-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol;Fl-istess ħin, il-gass tal-kloru fil-kamra tal-kisi huwa jonizzat mill-elettroni, u l-joni tal-argon jaċċelleraw il-bumbardament tal-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol.

Għalhekk, l-effett tat-tindif tal-bumbardament huwa tajjeb.Biss madwar 1 minuta ta 'tindif tal-bumbardament tista' tnaddaf il-biċċa tax-xogħol, li tissejjaħ "bumbardament tal-ark prinċipali".Minħabba l-massa għolja tal-joni tat-titanju, jekk jintuża sors ta 'ark żgħir biex jibbumbardja u jitnaddaf il-biċċa tax-xogħol għal żmien twil wisq, it-temperatura tal-biċċa tax-xogħol hija suxxettibbli għal sħana żejda, u t-tarf tal-għodda jista' jsir artab.Fil-produzzjoni ġenerali, sorsi ta 'ark żgħar jinxtegħlu wieħed wieħed minn fuq għal isfel, u kull sors ta' ark żgħir għandu ħin tat-tindif tal-bumbardament ta 'madwar minuta.

(1) Kisi ta 'saff tal-qiegħ tat-titanju

Sabiex tittejjeb l-adeżjoni bejn il-film u s-sottostrat, saff ta 'sottostrat tat-titanju pur huwa ġeneralment miksi qabel il-kisi tan-nitrur tat-titanju.Aġġusta l-livell tal-vakwu għal 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, aġġusta l-vultaġġ tal-preġudizzju tal-biċċa tax-xogħol għal 400-500V, u aġġusta ċ-ċiklu tad-dazju tal-provvista tal-enerġija tal-polz bias għal 40% ~ 50%.Għadu jaqbad sorsi ta 'ark żgħir wieħed wieħed biex jiġġenera skariku ta' ark ta 'kamp kiesaħ.Minħabba t-tnaqqis fil-vultaġġ ta 'bias negattiv tal-biċċa tax-xogħol, l-enerġija tal-joni tat-titanju tonqos.Wara li tilħaq il-biċċa tax-xogħol, l-effett ta 'sputtering huwa inqas mill-effett ta' depożizzjoni, u saff ta 'tranżizzjoni tat-titanju huwa ffurmat fuq il-biċċa tax-xogħol biex ittejjeb il-forza ta' twaħħil bejn is-saff tal-film iebes tan-nitrur tat-titanju u s-sottostrat.Dan il-proċess huwa wkoll il-proċess tat-tisħin tal-biċċa tax-xogħol.Meta l-mira tat-titanju pur tiġi skarikata, id-dawl fil-plażma huwa blu ċelesti.

1.Kisi tal-film iebes tal-iskutella ammonijata

Aġġusta l-grad tal-vakwu għal 3 × 10^-1-5Pa, aġġusta l-vultaġġ tal-preġudizzju tal-biċċa tax-xogħol għal 100-200V, u aġġusta ċ-ċiklu tad-dazju tal-provvista tal-enerġija tal-polz bias għal 70% ~ 80%.Wara li n-nitroġenu jiġi introdott, it-titanju huwa reazzjoni ta 'kombinazzjoni mal-plażma ta' skariku tal-ark biex jiddepożita film iebes tan-nitrur tat-titanju.F'dan il-punt, id-dawl tal-plażma fil-kamra tal-vakwu huwa aħmar ċirasa.Jekk C₂H₂, O₂, eċċ huma introdotti, TiCN, TiO₂, eċċ saffi tal-film jistgħu jinkisbu.

–Dan l-artikolu ġie rilaxxat minn Guangdong Zhenhua, aManifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwu