1, Formazzjoni ta 'komposti tal-metall fuq il-wiċċ fil-mira
Fejn huwa l-kompost iffurmat fil-proċess li jifforma kompost minn wiċċ tal-mira tal-metall permezz ta 'proċess ta' sputtering reattiv?Peress li r-reazzjoni kimika bejn il-partiċelli tal-gass reattiv u l-atomi tal-wiċċ fil-mira tipproduċi atomi komposti, li ġeneralment tkun eżotermika, is-sħana tar-reazzjoni għandu jkollha mod kif twettaq, inkella r-reazzjoni kimika ma tistax tkompli.Taħt kundizzjonijiet tal-vakwu, it-trasferiment tas-sħana bejn il-gassijiet mhuwiex possibbli, għalhekk ir-reazzjoni kimika għandha sseħħ fuq wiċċ solidu.Ir-reazzjoni sputtering tiġġenera komposti fuq uċuħ fil-mira, uċuħ sottostrat, u uċuħ strutturali oħra.Il-ġenerazzjoni ta 'komposti fuq il-wiċċ tas-sottostrat huwa l-għan, il-ġenerazzjoni ta' komposti fuq uċuħ strutturali oħra hija ħela ta 'riżorsi, u l-ġenerazzjoni ta' komposti fuq il-wiċċ fil-mira tibda bħala sors ta 'atomi komposti u ssir ostaklu biex tipprovdi kontinwament aktar atomi komposti.
2, Il-fatturi ta 'impatt ta' avvelenament fil-mira
Il-fattur ewlieni li jaffettwa l-avvelenament fil-mira huwa l-proporzjon ta 'gass ta' reazzjoni u gass sputtering, wisq gass ta 'reazzjoni se jwassal għal avvelenament fil-mira.Proċess ta 'sputtering reattiv jitwettaq fiż-żona tal-kanal ta' sputtering tal-wiċċ fil-mira jidher li huwa kopert mill-kompost ta 'reazzjoni jew il-kompost tar-reazzjoni huwa mqaxxar u wiċċ tal-metall espost mill-ġdid.Jekk ir-rata tal-ġenerazzjoni tal-kompost hija akbar mir-rata tat-tqaxxir tal-kompost, iż-żona tal-kopertura tal-kompost tiżdied.F'ċerta qawwa, l-ammont ta 'gass ta' reazzjoni involut fil-ġenerazzjoni ta 'kompost jiżdied u r-rata ta' ġenerazzjoni ta 'kompost tiżdied.Jekk l-ammont ta 'gass ta' reazzjoni jiżdied b'mod eċċessiv, iż-żona ta 'kopertura tal-kompost tiżdied.U jekk ir-rata tal-fluss tal-gass tar-reazzjoni ma tistax tiġi aġġustata fil-ħin, ir-rata taż-żieda taż-żona tal-kopertura tal-kompost mhix mrażżna, u l-kanal tal-sputtering se jkun kopert aktar mill-kompost, meta l-mira tal-sputtering tkun koperta bis-sħiħ mill-kompost, il-mira hija kompletament ivvelenat.
3, Fenomenu ta 'avvelenament fil-mira
(1) akkumulazzjoni ta 'jone pożittiv: meta l-avvelenament fil-mira, saff ta' film iżolanti se jiġi ffurmat fuq il-wiċċ fil-mira, joni pożittivi jilħqu l-wiċċ fil-mira tal-katodu minħabba l-imblukkar tas-saff iżolanti.Mhux direttament tidħol fil-wiċċ tal-mira tal-katodu, iżda jakkumula fuq il-wiċċ tal-mira, faċli biex tipproduċi kamp kiesaħ għal skariku tal-ark - arcing, sabiex il-katodu sputtering ma jistax ikompli.
(2) għajbien tal-anodu: meta l-avvelenament fil-mira, ħajt tal-kamra tal-vakwu ertjat ukoll depożitat film iżolanti, li jilħaq l-elettroni tal-anodu ma jistax jidħol fl-anodu, il-formazzjoni tal-fenomenu tal-għajbien tal-anodu.
4, Spjegazzjoni fiżika ta 'avvelenament fil-mira
(1) B'mod ġenerali, il-koeffiċjent sekondarju tal-emissjoni tal-elettroni tal-komposti tal-metall huwa ogħla minn dak tal-metalli.Wara l-avvelenament fil-mira, il-wiċċ tal-mira huwa komposti kollha tal-metall, u wara li jiġi bbumbardjat minn joni, in-numru ta 'elettroni sekondarji rilaxxati jiżdied, li jtejjeb il-konduttività tal-ispazju u jnaqqas l-impedenza tal-plażma, li jwassal għal vultaġġ sputtering aktar baxx.Dan inaqqas ir-rata ta 'sputtering.Ġeneralment il-vultaġġ ta 'sputtering ta' magnetron sputtering huwa bejn 400V-600V, u meta jseħħ avvelenament fil-mira, il-vultaġġ sputtering jitnaqqas b'mod sinifikanti.
(2) Mira tal-metall u mira kompost oriġinarjament ir-rata ta 'sputtering hija differenti, b'mod ġenerali l-koeffiċjent ta' sputtering tal-metall huwa ogħla mill-koeffiċjent ta 'sputtering tal-kompost, għalhekk ir-rata ta' sputtering hija baxxa wara avvelenament fil-mira.
(3) L-effiċjenza ta 'sputtering ta' gass sputtering reattiv hija oriġinarjament aktar baxxa mill-effiċjenza ta 'sputtering ta' gass inert, għalhekk ir-rata ta 'sputtering komprensiva tonqos wara li l-proporzjon ta' gass reattiv jiżdied.
5, Soluzzjonijiet għall-avvelenament fil-mira
(1) Adotta provvista ta 'enerġija ta' frekwenza medja jew provvista ta 'enerġija ta' frekwenza tar-radju.
(2) Adotta l-kontroll ta 'ċirku magħluq tal-influss tal-gass ta' reazzjoni.
(3) Adotta miri doppji
(4) Ikkontrolla l-bidla tal-mod tal-kisi: Qabel il-kisi, tinġabar il-kurva tal-effett tal-isteresi tal-avvelenament fil-mira sabiex il-fluss tal-arja tad-daħla jiġi kkontrollat fuq quddiem tal-produzzjoni tal-avvelenament fil-mira biex jiġi żgurat li l-proċess ikun dejjem fil-mod qabel id-depożizzjoni rata tinżel bil-kbir.
-Dan l-artikolu huwa ppubblikat minn Guangdong Zhenhua Technology, manifattur ta 'tagħmir ta' kisi bil-vakwu.
Ħin tal-post: Nov-07-2022