Kisi tal-jonemagna oriġina mit-teorija proposta minn DM Mattox fis-sittinijiet, u f'dak iż-żmien bdew esperimenti korrispondenti;Sal-1971, Chambers u oħrajn ippubblikaw it-teknoloġija tal-kisi tal-jone tar-raġġ tal-elettroni;It-teknoloġija tal-kisi tal-evaporazzjoni reattiva (ARE) ġiet indikata fir-rapport Bunshah fl-1972, meta ġew prodotti tipi ta 'film super-iebes bħal TiC u TiN;Ukoll fl-1972, Smith u Molley adottaw it-teknoloġija tal-katodu vojta fil-proċess tal-kisi.Sas-snin tmenin, il-kisi tal-jone fiċ-Ċina kien finalment laħaq il-livell ta 'applikazzjoni industrijali, u l-proċessi tal-kisi bħal kisi tal-jone b'ħafna ark bil-vakwu u kisi tal-jone b'ark-discharge kienu dehru suċċessivament.
Il-proċess kollu tax-xogħol tal-kisi tal-jone vakwu huwa kif ġej: l-ewwel,pompail-kamra tal-vakwu, u mbagħadstennail-pressjoni tal-vakwu għal 4X10 ⁻ ³ Pajew aħjar, huwa meħtieġ li tikkonnettja l-provvista ta 'enerġija ta' vultaġġ għoli u tinbena żona ta 'plażma b'temperatura baxxa ta' gass ta 'skarigu ta' vultaġġ baxx bejn is-sottostrat u l-evaporatur.Qabbad l-elettrodu tas-sottostrat b'vultaġġ għoli negattiv ta '5000V DC biex tifforma discharge glow tal-katodu.Il-joni tal-gass inert huma ġġenerati ħdejn iż-żona ta 'lewn negattiv.Huma jidħlu fiż-żona skura tal-katodu u huma aċċellerati mill-kamp elettriku u jibbumbardjaw il-wiċċ tas-sottostrat.Dan huwa proċess ta 'tindif, u mbagħad jidħol fil-proċess tal-kisi.Permezz tal-effett tat-tisħin tal-bumbardament, xi materjali tal-kisi huma vaporizzati.Iż-żona tal-plażma tidħol fil-protoni, taħbat ma 'elettroni u jonji tal-gass inerti, u parti żgħira minnhom huma jonizzati, Dawn il-joni jonizzati b'enerġija għolja se jibbumbardjaw il-wiċċ tal-film u jtejbu l-kwalità tal-film sa ċertu punt.
Il-prinċipju tal-kisi tal-jone tal-vakwu huwa: fil-kamra tal-vakwu, bl-użu tal-fenomenu tal-ħruġ tal-gass jew il-parti jonizzata tal-materjal vaporizzat, taħt il-bumbardament tal-jonji tal-materjal vaporizzat jew joni tal-gass, simultanjament jiddepożitaw dawn is-sustanzi vaporizzati jew ir-reaġenti tagħhom fuq is-sottostrat biex tikseb film irqiq.Il-kisi tal-jonemagnatgħaqqad l-evaporazzjoni bil-vakwu, it-teknoloġija tal-plażma u l-iskariku tal-gass glow, li mhux biss itejjeb il-kwalità tal-film, iżda wkoll jespandi l-firxa ta 'applikazzjoni tal-film.Il-vantaġġi ta 'dan il-proċess huma diffrazzjoni qawwija, adeżjoni tajba tal-film, u diversi materjali tal-kisi.Il-prinċipju tal-kisi tal-jone ġie propost għall-ewwel darba minn DM Mattox.Hemm ħafna tipi ta 'kisi tal-jone.L-aktar tip komuni huwa t-tisħin bl-evaporazzjoni, inkluż it-tisħin tar-reżistenza, it-tisħin tar-raġġ tal-elettroni, it-tisħin tar-raġġ tal-elettroni tal-plażma, it-tisħin tal-induzzjoni bi frekwenza għolja u metodi oħra ta 'tisħin.
Ħin tal-post: Frar-14-2023