Din is-serje ta 'tagħmir tuża miri magnetron biex tikkonverti materjali tal-kisi f'partiċelli ta' daqs nanometru, li huma depożitati fuq il-wiċċ tas-sottostrati biex jiffurmaw films irqaq.Il-film irrumblat jitqiegħed fil-kamra tal-vakwu.Permezz tal-istruttura tal-istralċ immexxija bl-elettriku, tarf wieħed jirċievi l-film u l-ieħor ipoġġi l-film.Ikompli jgħaddi miż-żona fil-mira u jirċievi l-partiċelli fil-mira biex jiffurmaw film dens.
Karatteristika:
1. Film f'temperatura baxxa li jiffurmaw.It-temperatura għandha ftit effett fuq il-film u mhux se tipproduċi deformazzjoni.Huwa adattat għall-PET, PI u films ta 'coil ta' materjal bażiku ieħor.
2. Il-ħxuna tal-film tista 'tiġi ddisinjata.Kisjiet irqiq jew ħoxnin jistgħu jiġu ddisinjati u depożitati permezz ta 'aġġustament tal-proċess.
3. Disinn ta 'lokazzjoni ta' mira multipli, proċess flessibbli.Il-magna kollha tista 'tkun mgħammra bi tmien miri, li jistgħu jintużaw jew bħala miri tal-metall sempliċi jew miri komposti u ossidu.Jista 'jintuża biex jipprepara films b'saff wieħed bi struttura waħda jew films b'ħafna saffi bi struttura komposta.Il-proċess huwa flessibbli ħafna.
It-tagħmir jista 'jħejji film ta' lqugħ elettromanjetiku, kisi ta 'bord ta' ċirkwit flessibbli, films dielettriċi varji, film anti-rifless AR b'ħafna saffi, film anti-rifless HR għoli, film bil-kulur, eċċ it-tagħmir għandu firxa wiesgħa ħafna ta 'applikazzjonijiet, u depożizzjoni ta' film b'saff wieħed jista 'jitlesta b'depożizzjoni ta' film ta 'darba.
It-tagħmir jista 'jadotta miri sempliċi tal-metall bħal Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, eċċ., jew miri komposti bħal SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, eċċ.
It-tagħmir huwa żgħir fid-daqs, kompatt fid-disinn tal-istruttura, żgħir fl-erja tal-art, baxx fil-konsum tal-enerġija, u flessibbli fl-aġġustament.Huwa adattat ħafna għal riċerka u żvilupp tal-proċess jew produzzjoni tal-massa ta 'lott żgħir.