Introduzzjoni tat-teknoloġija tal-kisi tal-evaporazzjoni bil-vakwu

2、Evaporazzjoni tat-tisħin

(1) Evaporazzjoni tat-tisħin tar-reżistenza
L-evaporazzjoni tat-tisħin tar-reżistenza hija l-aktar metodu ta 'tisħin sempliċi u użat b'mod komuni, ġeneralment applikabbli għal materjali tal-kisi b'punt tat-tidwib taħt 1500 ℃, metalli b'punt ta' tidwib għoli f'forma ta 'wajer jew folja (W, Mo, Ti, Ta, nitrur tal-boron, eċċ.) huma ġeneralment magħmula f'forma xierqa ta 'sors ta' evaporazzjoni, mgħobbija b'materjali ta 'evaporazzjoni, permezz tas-sħana Joule tal-kurrent elettriku biex jiddewweb, jevapora jew jissublima l-materjal tal-kisi, il-forma ta' sors ta 'evaporazzjoni tinkludi prinċipalment spirali b'ħafna linji, forma ta' U, mewġa sine , pjanċa rqiqa, dgħajsa, basket tal-koni, eċċ Fl-istess ħin, il-metodu jeħtieġ li l-materjal tas-sors tal-evaporazzjoni jkollu punt ta 'tidwib għoli, pressjoni tal-fwar ta' saturazzjoni baxxa, proprjetajiet kimiċi stabbli, ma jkollux reazzjoni kimika mal-materjal tal-kisi f'temperatura għolja, reżistenza tas-sħana tajba, bidla żgħira fid-densità tal-qawwa, eċċ Jadotta kurrent għoli permezz tas-sors ta 'evaporazzjoni biex jagħmilha jisħon u jevapora l-materjal tal-film permezz ta' tisħin dirett, jew poġġi l-materjal tal-film fil-griġjol magħmul minn grafita u ċerti reżistenti għal temperatura għolja ossidi tal-metall (bħal A202, B0) u materjali oħra għat-tisħin indirett biex jevapora.
Il-kisja tal-evaporazzjoni tat-tisħin tar-reżistenza għandha limitazzjonijiet: metalli refrattorji għandhom pressjoni baxxa tal-fwar, li huwa diffiċli biex tagħmel film irqiq;xi elementi huma faċli biex jiffurmaw liga bil-wajer tat-tisħin;mhuwiex faċli li tinkiseb kompożizzjoni uniformi tal-film tal-liga.Minħabba l-istruttura sempliċi, prezz baxx u tħaddim faċli tal-metodu ta 'evaporazzjoni tat-tisħin tar-reżistenza, hija applikazzjoni komuni ħafna tal-metodu ta' evaporazzjoni.

(2) Evaporazzjoni tat-tisħin tar-raġġ tal-elettroni
L-evaporazzjoni tar-raġġ ta 'l-elettroni hija metodu ta' evaporazzjoni tal-materjal tal-kisi billi jiġi bbumbardjat b'raġġ ta 'elettroni ta' densità għolja ta 'enerġija billi tpoġġiha fi griġjol tar-ram imkessaħ bl-ilma.Is-sors ta 'evaporazzjoni jikkonsisti minn sors ta' emissjoni ta 'elettroni, sors ta' enerġija ta 'aċċelerazzjoni ta' elettroni, griġjol (ġeneralment griġjol tar-ram), coil tal-kamp manjetiku, u sett ta 'ilma li jkessaħ, eċċ. F'dan l-apparat, il-materjal imsaħħan jitqiegħed f'ilma. -griġjol imkessaħ, u r-raġġ ta 'l-elettroni bombards biss porzjon żgħir ħafna tal-materjal, filwaqt li ħafna mill-materjal li jifdal jibqa' f'temperatura baxxa ħafna taħt l-effett tat-tkessiħ tal-griġjol, li jista 'jitqies bħala l-porzjon bbumbardjat tal-griġjol.Għalhekk, il-metodu tat-tisħin tar-raġġ tal-elettroni għall-evaporazzjoni jista 'jevita l-kontaminazzjoni bejn il-materjal tal-kisi u l-materjal tas-sors tal-evaporazzjoni.
L-istruttura tas-sors ta 'evaporazzjoni tar-raġġ ta' l-elettroni tista 'tinqasam fi tliet tipi: pistoli dritti (Boules guns), ring guns (deflected elettrikament) u e-guns (manjetikament deflected).Griġjol wieħed jew aktar jistgħu jitqiegħdu f'faċilità ta 'evaporazzjoni, li tista' tevapora u tiddepożita ħafna sustanzi differenti simultanjament jew separatament.

Is-sorsi ta 'evaporazzjoni tar-raġġ ta' elettroni għandhom il-vantaġġi li ġejjin.
①Id-densità għolja tar-raġġ tas-sors ta 'evaporazzjoni tal-bumbardament tar-raġġ ta' l-elettroni tista 'tikseb densità ta' enerġija ferm akbar mis-sors tat-tisħin tar-reżistenza, li jista 'jevapora materjali b'punt ta' tidwib għoli, bħal W, Mo, Al2O3, eċċ.
②Il-materjal tal-kisi jitqiegħed fi griġjol tar-ram imkessaħ bl-ilma, li jista 'jevita l-evaporazzjoni tal-materjal tas-sors tal-evaporazzjoni, u r-reazzjoni bejniethom.
③Is-sħana tista 'tiġi miżjuda direttament mal-wiċċ tal-materjal tal-kisi, li tagħmel l-effiċjenza termali għolja u t-telf tal-konduzzjoni tas-sħana u r-radjazzjoni tas-sħana baxxa.
L-iżvantaġġ tal-metodu ta 'evaporazzjoni tat-tisħin tar-raġġ tal-elettroni huwa li l-elettroni primarji mill-kanun tal-elettroni u l-elettroni sekondarji mill-wiċċ tal-materjal tal-kisi se jonizza l-atomi li jevapora u l-molekuli tal-gass residwu, li xi drabi jaffettwa l-kwalità tal-film.

(3) Evaporazzjoni tat-tisħin tal-induzzjoni ta 'frekwenza għolja
L-evaporazzjoni tat-tisħin ta 'induzzjoni ta' frekwenza għolja hija li tpoġġi l-griġjol b'materjal tal-kisi fiċ-ċentru tal-coil spirali ta 'frekwenza għolja, sabiex il-materjal tal-kisi jiġġenera effett qawwi ta' kurrent eddy u isteresi taħt l-induzzjoni ta 'kamp elettromanjetiku ta' frekwenza għolja, li jikkawża l- saff tal-film biex jisħon sakemm jifvaporizza u jevapora.Is-sors ta 'evaporazzjoni ġeneralment jikkonsisti f'kojl ta' frekwenza għolja mkessaħ bl-ilma u griġjol tal-grafita jew taċ-ċeramika (ossidu tal-manjeżju, ossidu tal-aluminju, ossidu tal-boron, eċċ.).Il-provvista ta 'enerġija ta' frekwenza għolja tuża frekwenza ta 'għaxart elef sa diversi mijiet ta' eluf Hz, il-qawwa tad-dħul hija minn diversi sa diversi mijiet ta 'kilowatts, iżgħar ikun il-volum tal-materjal tal-membrana, iktar tkun għolja l-frekwenza tal-induzzjoni.Il-frekwenza tal-coil tal-induzzjoni hija ġeneralment magħmula minn tubu tar-ram imkessaħ bl-ilma.
L-iżvantaġġ tal-metodu ta 'evaporazzjoni tat-tisħin tal-induzzjoni ta' frekwenza għolja huwa li mhuwiex faċli li taġġusta l-qawwa tad-dħul fin, għandha l-vantaġġi li ġejjin.
①Rata għolja ta 'evaporazzjoni
②It-temperatura tas-sors ta 'evaporazzjoni hija uniformi u stabbli, għalhekk mhux faċli li tipproduċi l-fenomenu ta' tixrid ta 'qtar tal-kisi, u tista' wkoll tevita l-fenomenu ta 'pinholes fuq il-film depożitat.
③Is-sors ta 'evaporazzjoni jitgħabba darba, u t-temperatura hija relattivament faċli u sempliċi biex tikkontrolla.