HFCVD0606

ဓာတုအခိုးအငွေ့ စွန့်ပစ်ပစ္စည်း၏ လေဟာနယ်အခန်းသည် အအေးခံရာတွင် ထိရောက်ပြီး တူညီသည့် လွတ်လပ်သော နှစ်ထပ်ရေအေးဖွဲ့စည်းပုံကို လက်ခံကာ ဘေးကင်းပြီး တည်ငြိမ်သော ဖွဲ့စည်းပုံရှိသည်။စက်ပစ္စည်းအား တံခါးနှစ်ထပ်၊ ရှုထောင့်မျိုးစုံမှ ပြတင်းပေါက်များနှင့် တိုးချဲ့ထားသော အင်တာဖေ့စ်အများအပြားဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး၊ အနီအောက်ရောင်ခြည် အပူချိန်တိုင်းတာခြင်း၊ ရောင်စဉ်တန်းခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်း၊ ဗီဒီယိုစောင့်ကြည့်ခြင်းနှင့် သာမိုကော့ပလီများကဲ့သို့သော ပြင်ပချိတ်ဆက်မှုအတွက် အဆင်ပြေစေပါသည်။အဆင့်မြင့်ဒီဇိုင်းအယူအဆသည် နေ့စဉ်ပြန်လည်ပြင်ဆင်ခြင်းနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းခြင်း၊ စက်ပစ္စည်းများ၏ဖွဲ့စည်းပုံပြောင်းလဲခြင်းနှင့် အဆင့်မြှင့်တင်ခြင်းတို့ကို လွယ်ကူရိုးရှင်းစေပြီး အသုံးပြုမှုနှင့် အဆင့်မြှင့်တင်မှုကုန်ကျစရိတ်များကို ထိရောက်စွာလျှော့ချစေသည်။

စက်ပစ္စည်းအင်္ဂါရပ်များ

1. ပစ္စည်းများ၏ ငွေကြေးဖောင်းပွမှု အစိတ်အပိုင်းများတွင် အဓိကအားဖြင့် mass flow meter၊ solenoid valve နှင့် gas mixing tank များ ပါဝင်ပြီး၊ လုပ်ငန်းစဉ် ဓာတ်ငွေ့ စီးဆင်းမှုကို တိကျစွာ ထိန်းချုပ်နိုင်စေရန်၊ တူညီသော ဓာတ်ငွေ့များ ရောစပ်ခြင်းနှင့် ဘေးကင်းစွာ သီးခြားခွဲထုတ်ခြင်းတို့ကို သေချာစေကာ အသုံးပြုရန်အတွက် ဓာတ်ငွေ့စနစ် အစိတ်အပိုင်းများကို ရွေးချယ်နိုင်သည်။ ဓာတ်ငွေ့ရည်အရင်းအမြစ်၊ အရည်ကာဗွန်အရင်းအမြစ်အများအပြားကို စိတ်ကြိုက်ရွေးချယ်ရာတွင် လွယ်ကူချောမွေ့စေပြီး ဓာတုလျှပ်ကူးစိန်နှင့် လျှပ်ကူးပစ္စည်းအရည်ဘိုရွန်ရင်းမြစ်များကို ဘေးကင်းစွာအသုံးပြုခြင်း။
2. လေထုတ်ယူမှု တပ်ဆင်မှုတွင် အသံတိတ်ပြီး ထိရောက်မှုရှိသော rotary vane vacuum pump နှင့် turbo molecular pump စနစ် တပ်ဆင်ထားပြီး မြင့်မားသော လေဟာနယ်နောက်ခံပတ်ဝန်းကျင်ကို လျင်မြန်စွာ ဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်ပါသည်။ခုခံနိုင်မှု gauge နှင့် ionization gauge ပါရှိသော ပေါင်းစပ်လေဟာနယ် gauge ကို လေဟာနယ်တိုင်းတာခြင်းအတွက်သာမက ကျယ်ပြန့်သော အကွာအဝေးတွင် မတူညီသော ဓာတ်ငွေ့များ၏ ဖိအားကို တိုင်းတာနိုင်သော capacitive film gauge system ကို အသုံးပြုပါသည်။သိုလှောင်မှုဖိအားကို တိကျသောအချိုးကျထိန်းချုပ်မှုအဆို့ရှင်ဖြင့် အပြည့်အဝ အလိုအလျောက်ထိန်းချုပ်ထားသည်။
3.အအေးခံရေအစိတ်အပိုင်းတွင် ဘက်စုံရေဖိအား၊ စီးဆင်းမှု၊ အပူချိန်တိုင်းတာခြင်းနှင့် ဆော့ဖ်ဝဲလ်အလိုအလျောက်စောင့်ကြည့်ခြင်းများ တပ်ဆင်ထားပါသည်။ကွဲပြားသော အအေးခံအစိတ်အပိုင်းများသည် တစ်ခုနှင့်တစ်ခု သီးခြားကွဲလွဲနေသောကြောင့် လျင်မြန်သောအမှားရှာဖွေတွေ့ရှိမှုအတွက် အဆင်ပြေပါသည်။အကိုင်းအခက်အားလုံးတွင် လုံခြုံပြီး ထိရောက်မှုရှိသော အမှီအခိုကင်းသော အဆို့ရှင်ခလုတ်များရှိသည်။
4. လျှပ်စစ်ထိန်းချုပ်မှု အစိတ်အပိုင်းများသည် အရွယ်အစားကြီးမားသော လူ-စက်မျက်နှာပြင် LCD မျက်နှာပြင်ကို လက်ခံရရှိပြီး လုပ်ငန်းစဉ်ဖော်မြူလာကို တည်းဖြတ်ခြင်းနှင့် တင်သွင်းခြင်းတို့ကို လွယ်ကူချောမွေ့စေရန် PLC နှင့် အလိုအလျောက်ထိန်းချုပ်မှုအပြည့်ဖြင့် ပူးပေါင်းလုပ်ဆောင်သည်။ဂရပ်ဖစ်မျဉ်းကွေးသည် အမျိုးမျိုးသော ကန့်သတ်ဘောင်များ၏ ပြောင်းလဲမှုများနှင့် တန်ဖိုးများကို အမြင်အာရုံဖြင့် ပြသပေးကာ ပြဿနာရှာဖွေခြင်းနှင့် ဒေတာစာရင်းအင်းခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုကို လွယ်ကူချောမွေ့စေရန် စက်ကိရိယာနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ဘောင်များကို အလိုအလျောက် မှတ်တမ်းတင်ပြီး သိမ်းဆည်းထားသည်။
5. အဆိုပါ workpiece rack သည် substrate table ၏ရုတ်သိမ်းခြင်းနှင့်နိမ့်ဆင်းခြင်းကိုထိန်းချုပ်ရန် servo motor တပ်ဆင်ထားသည်။ဂရပ်ဖိုက် သို့မဟုတ် ကြေးနီအလွှာစားပွဲကို ရွေးချယ်နိုင်သည်။အပူချိန်ကို thermocouple ဖြင့် တိုင်းတာသည်။
6.ဖောက်သည်များ၏အထူးကိုင်တွယ်မှုလိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီရန်ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်များနှင့်အညီတစ်ဖွဲ့လုံးသို့မဟုတ်သီးခြားစီဒီဇိုင်းပြုလုပ်နိုင်သည်။
7.The sealing plate components များသည် လှပပြေပြစ်ပါသည်။စက်၏ မတူညီသော လုပ်ဆောင်နိုင်သော မော်ဂျူးဧရိယာများရှိ အလုံပိတ်ပြားများကို လျင်မြန်စွာ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာနိုင်သည် သို့မဟုတ် လွတ်လပ်စွာ အဖွင့်အပိတ် ပြုလုပ်နိုင်ပြီး အသုံးပြုရအလွန်အဆင်ပြေပါသည်။

ပူသောချည်မျှင် CVD စက်ပစ္စည်းသည် ပါးလွှာသောဖလင်အပေါ်ယံပိုင်း၊ ထူထဲသောရုပ်ရှင်၊ မိုက်ခရိုခရစ်စတယ်လိုင်းနှင့် နာနိုခရစ်စတယ်လိုင်းစိန်၊ လျှပ်ကူးစိန်စသည်တို့အပါအဝင် စိန်ပစ္စည်းများကို အပ်နှံရန်အတွက် သင့်လျော်ပါသည်။ ၎င်းကို ဘိလပ်မြေကာဘိုင်ဖြတ်တောက်ခြင်းကိရိယာများ၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများ၊ ဆီလီကွန်နှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်၊ စက်ပစ္စည်းများ၏ အပူအအေးခံအလွှာများ၊ ဘိုရွန် doped conductive စိန်လျှပ်ကူးပစ္စည်း၊ အီလက်ထရောနစ်ရေကို အိုဇုန်းပိုးသတ်ခြင်း သို့မဟုတ် မိလ္လာသန့်စင်ခြင်းကဲ့သို့သော။