ပလာစမာတိုက်ရိုက်ပိုလီမာ ဖြစ်စဉ်

ပလာစမာတိုက်ရိုက်ပိုလီမာ ဖြစ်စဉ်

Plasma polymerization ၏လုပ်ငန်းစဉ်သည် အတွင်းပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းပေါ်လီမာဇေးရှင်းကိရိယာများနှင့် ပြင်ပလျှပ်ကူးပစ္စည်းပေါ်လီမာပြုလုပ်ခြင်းကိရိယာနှစ်ခုလုံးအတွက်အတော်လေးရိုးရှင်းသော်လည်း Plasma polymerization တွင် ကန့်သတ်ချက်များရွေးချယ်မှုသည် Plasma polymerization တွင်ပိုမိုအရေးကြီးသောကြောင့်၊ ကန့်သတ်ချက်များသည် Plasma polymerization ကာလအတွင်း ပိုလီမာရုပ်ရှင်များ၏တည်ဆောက်ပုံနှင့်စွမ်းဆောင်ရည်အပေါ်တွင်ပိုမိုအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိသောကြောင့်ဖြစ်သည်။

direct plasma polymerization အတွက် လုပ်ဆောင်မှု အဆင့်များမှာ အောက်ပါအတိုင်းဖြစ်သည် ။

(၁) ဖုန်စုပ်ခြင်း။

လေဟာနယ်အခြေအနေအောက်တွင် ပေါ်လီမာပြုလုပ်ခြင်း၏ နောက်ခံလေဟာနယ်ကို 1.3×10-1Pa သို့ စုပ်ယူသင့်သည်။အောက်ဆီဂျင် သို့မဟုတ် နိုက်ထရိုဂျင်ပါဝင်မှုကို ထိန်းချုပ်ရန်အတွက် အထူးလိုအပ်ချက်များ လိုအပ်သည့် ပိုလီမာတုံ့ပြန်တုံ့ပြန်မှုများအတွက်၊ နောက်ခံလေဟာနယ်လိုအပ်ချက်သည် ပို၍မြင့်မားသည်။

(၂) အားသွင်းတုံ့ပြန်မှု မိုနိုမာ သို့မဟုတ် ဓာတ်ငွေ့သယ်ဆောင်သူဓာတ်ငွေ့နှင့် မိုနိုမာရောစပ်သောဓာတ်ငွေ့

လေဟာနယ်ဒီဂရီသည် 13-130Pa ဖြစ်သည်။အလုပ်လုပ်ရန်လိုအပ်သော ပလာစမာပိုလီမာအတွက်၊ သင့်လျော်သောစီးဆင်းမှုထိန်းချုပ်မှုမုဒ်နှင့် စီးဆင်းမှုနှုန်းကို ယေဘုယျအားဖြင့် 10.100mL/min ကိုရွေးချယ်ရပါမည်။ပလာစမာတွင်၊ မိုနိုမာမော်လီကျူးများသည် စွမ်းအင်ရှိသော အမှုန်များကို ဗုံးကြဲခြင်းဖြင့် အိုင်းယွန်းနှင့် ကွဲသွားကာ အိုင်းယွန်းနှင့် တက်ကြွသော ဗီဇကဲ့သို့သော တက်ကြွသော အမှုန်အမွှားများကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။ပလာစမာအားဖြင့် တက်ကြွသောအမှုန်များသည် ဓာတ်ငွေ့အဆင့်နှင့် အစိုင်အခဲအဆင့်ကြားရှိ ပလာစမာပိုလီမာဖန်တီးမှုကို ခံယူနိုင်သည်။မိုနိုမာသည် ပလာစမာပိုလီမာဖန်တီးမှုအတွက် ရှေ့ပြေးနိမိတ်ရင်းမြစ်ဖြစ်ပြီး အဝင်တုံ့ပြန်မှုဓာတ်ငွေ့နှင့် မိုနိုမာတို့သည် တိကျသေချာသော သန့်စင်မှုရှိရမည်။

(၃) စိတ်အားထက်သန်မှုစွမ်းအားကို ရွေးချယ်ခြင်း။

ပလာစမာကို DC၊ ကြိမ်နှုန်းမြင့်၊ RF သို့မဟုတ် မိုက်ခရိုဝေ့ဖ် ပါဝါရင်းမြစ်များကို အသုံးပြု၍ ပလာစမာကို ပေါ်လီမာပြောင်းလဲခြင်းအတွက် ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်ကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်သည်။ပါဝါထောက်ပံ့မှုရွေးချယ်မှုသည် ပေါ်လီမာ၏ဖွဲ့စည်းပုံနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် လိုအပ်ချက်များအပေါ် မူတည်၍ ဆုံးဖြတ်သည်။

(၄) discharge mode ကို ရွေးချယ်ခြင်း။

ပေါ်လီမာလိုအပ်ချက်များအတွက်၊ ပလာစမာပိုလီမာပြုလုပ်ခြင်းတွင် ဆက်တိုက်ထုတ်လွှတ်ခြင်း သို့မဟုတ် သွေးခုန်နှုန်းထွက်ခြင်းမုဒ်နှစ်ခုကို ရွေးချယ်နိုင်သည်။

(၅) discharge parameters များကို ရွေးချယ်ခြင်း။

Plasma ပေါ်လီမာပြုလုပ်ခြင်းလုပ်ဆောင်သောအခါ၊ ပလာစမာဘောင်သတ်မှတ်ချက်များ၊ ပေါ်လီမာဂုဏ်သတ္တိများနှင့် ဖွဲ့စည်းပုံလိုအပ်ချက်များမှ စွန့်ထုတ်ခြင်းဆိုင်ရာဘောင်များကို ထည့်သွင်းစဉ်းစားရန် လိုအပ်သည်။ပေါ်လီမာပြုခြင်းကာလအတွင်း အသုံးချပါဝါ၏ပြင်းအားကို လေဟာနယ်အခန်း၏ ထုထည်၊ လျှပ်ကူးပစ္စည်းအရွယ်အစား၊ မိုနိုမာစီးဆင်းမှုနှုန်းနှင့် ဖွဲ့စည်းပုံ၊ ပေါ်လီမာပြုနှုန်း၊ ပေါ်လီမာဖွဲ့စည်းပုံနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်တို့ဖြင့် ဆုံးဖြတ်သည်။ဥပမာအားဖြင့်၊ တုံ့ပြန်မှုအခန်းပမာဏသည် 1L ဖြစ်ပြီး RF Plasma ပေါ်လီမာကို အသုံးပြုပါက၊ ထုတ်လွှတ်သည့်ပါဝါသည် 10 ~ 30W အကွာအဝေးတွင် ရှိနေမည်ဖြစ်သည်။ထိုသို့သောအခြေအနေများအောက်တွင်၊ ထုတ်လုပ်ထားသောပလာစမာသည် အလုပ်ခွင်၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ပါးလွှာသောဖလင်တစ်ခုအဖြစ် စုစည်းနိုင်သည်။Plasma polymerization ရုပ်ရှင်၏ ကြီးထွားနှုန်းသည် ပါဝါထောက်ပံ့မှု၊ မိုနိုမာအမျိုးအစားနှင့် စီးဆင်းမှုနှုန်းနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်အခြေအနေများနှင့် ကွဲပြားသည်။ယေဘုယျအားဖြင့် တိုးတက်မှုနှုန်းသည် 100nm/min~1um/min ဖြစ်သည်။

(၆) Plasma polymerization တွင် ပါရာမီတာတိုင်းတာခြင်း။

Plasma polymerization တွင် တိုင်းတာရမည့် ပလာစမာ ဘောင်ဘောင်များနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ဘောင်များတွင်- ထုတ်လွှတ်သည့်ဗို့အား၊ လျှပ်စီးကြောင်း၊ ထုတ်လွှတ်သည့် အကြိမ်ရေ၊ အီလက်ထရွန် အပူချိန်၊ သိပ်သည်းဆ၊ တုံ့ပြန်မှုအုပ်စု အမျိုးအစားနှင့် အာရုံစူးစိုက်မှု စသည်တို့ ပါဝင်သည်။

—— ဤဆောင်းပါးကို Guangdong Zhenhua Technology, aoptical coating စက်များထုတ်လုပ်သူ.