उपकरणले ठाडो अगाडिको ढोका संरचना र क्लस्टर लेआउट अपनाउँछ।यो धातु र विभिन्न जैविक सामग्री को लागि वाष्पीकरण स्रोत संग सुसज्जित गर्न सकिन्छ, र विभिन्न विशिष्टताहरु को सिलिकन वेफर्स वाष्पीकरण गर्न सक्नुहुन्छ।सटीक पङ्क्तिबद्ध प्रणाली संग सुसज्जित, कोटिंग स्थिर छ र कोटिंग राम्रो दोहोरिने योग्यता छ।
GX600 कोटिंग उपकरणले सब्सट्रेटमा जैविक प्रकाश उत्सर्जन गर्ने सामग्री वा धातु सामग्रीहरू सही, समान र नियन्त्रणयोग्य रूपमा वाष्पीकरण गर्न सक्छ।यसमा सरल फिल्म गठन, उच्च शुद्धता र उच्च कम्प्याक्टनेसको फाइदाहरू छन्।पूर्ण-स्वचालित फिल्म मोटाई वास्तविक-समय निगरानी प्रणाली प्रक्रियाको दोहोर्याउने र स्थिरता सुनिश्चित गर्न सक्छ।यो अपरेटरको सीपमा निर्भरता कम गर्न सेल्फ पिघलाउने प्रकार्यसँग सुसज्जित छ।
उपकरण Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti र अन्य धातु सामग्रीहरूमा लागू गर्न सकिन्छ, र मेटल फिल्म, डाइलेक्ट्रिक लेयर फिल्म, IMD फिल्म, इत्यादिको साथ लेपित गर्न सकिन्छ। यो मुख्य रूपमा अर्धचालकमा प्रयोग गरिन्छ। उद्योग, जस्तै पावर उपकरण, अर्धचालक रियर प्याकेजिङ सब्सट्रेट कोटिंग, आदि।
GX600 | GX900 |
φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |