HFCVD0606

रासायनिक वाष्प निक्षेप उपकरणको भ्याकुम कोटिंग चेम्बरले एक स्वतन्त्र डबल-लेयर वाटर-कूलिंग संरचना अपनाउँछ, जुन शीतलनमा कुशल र समान छ, र सुरक्षित र स्थिर संरचना छ।उपकरणहरू डबल ढोका, बहु अवलोकन विन्डोहरू र बहुविध विस्तार इन्टरफेसहरूसँग डिजाइन गरिएको छ, जुन इन्फ्रारेड तापमान मापन, स्पेक्ट्रल विश्लेषण, भिडियो निगरानी र थर्मोकोपल जस्ता सहायक बाह्य उपकरणहरूको बाह्य जडानको लागि सुविधाजनक छ।उन्नत डिजाइन अवधारणाले दैनिक ओभरहाल र मर्मतसम्भार, कन्फिगरेसन परिवर्तन र उपकरणको स्तरवृद्धिलाई सजिलो र सरल बनाउँछ, र प्रभावकारी रूपमा प्रयोग र स्तरवृद्धि लागत घटाउँछ।

उपकरण सुविधाहरू:

1. उपकरणको मुद्रास्फीति कम्पोनेन्टहरूमा मुख्यतया मास फ्लो मिटर, सोलेनोइड भल्भ र ग्यास मिक्सिङ ट्याङ्की समावेश छन्, जसले प्रक्रिया ग्यास प्रवाह, समान मिश्रण र विभिन्न ग्यासहरूको सुरक्षित अलगावको सही नियन्त्रण सुनिश्चित गर्दछ, र प्रयोगको लागि ग्यास प्रणाली घटकहरू चयन गर्न सक्छ। तरल ग्यास स्रोत, तरल कार्बन स्रोत को एक विस्तृत श्रृंखला को व्यक्तिगत चयन को सुविधा, र सिंथेटिक प्रवाहकीय हीरा र इलेक्ट्रोड तरल बोरोन स्रोत को सुरक्षित प्रयोग।
2. हावा निकासी विधानसभा एक मौन र कुशल रोटरी भेन भ्याकुम पम्प र एक टर्बो आणविक पम्प प्रणाली संग सुसज्जित छ जुन उच्च भ्याकुम पृष्ठभूमि वातावरण चाँडै भेट्न सक्छ।प्रतिरोध गेज र आयनाइजेसन गेजको साथ कम्पोजिट भ्याकुम गेज भ्याकुम मापनको लागि प्रयोग गरिन्छ, साथै क्यापेसिटिव फिल्म गेज प्रणाली जसले विभिन्न प्रक्रिया ग्यासहरूको दबाबलाई विस्तृत दायरामा मापन गर्न सक्छ।निक्षेप दबाव उच्च परिशुद्धता समानुपातिक नियन्त्रण भल्भ द्वारा पूर्ण स्वचालित रूपमा नियन्त्रित छ।
3. चिसो पानी कम्पोनेन्ट बहु-च्यानल पानी दबाब, प्रवाह, तापमान मापन र सफ्टवेयर स्वचालित निगरानी संग सुसज्जित छ।विभिन्न शीतलन घटकहरू एकअर्काबाट स्वतन्त्र छन्, जुन द्रुत गल्ती निदानको लागि सुविधाजनक छ।सबै शाखाहरूमा स्वतन्त्र भल्भ स्विचहरू छन्, जुन सुरक्षित र प्रभावकारी छ।
4. विद्युतीय नियन्त्रण घटकहरूले ठूलो आकारको म्यान-मेसिन इन्टरफेस LCD स्क्रिन अपनाउछन् र प्रक्रिया सूत्रको सम्पादन र आयातलाई सहज बनाउन PLC पूर्ण-स्वचालित नियन्त्रणसँग सहकार्य गर्दछ।ग्राफिकल कर्भले विभिन्न प्यारामिटरहरूको परिवर्तन र मानहरू दृश्यात्मक रूपमा प्रदर्शन गर्दछ, र उपकरण र प्रक्रिया प्यारामिटरहरू स्वचालित रूपमा रेकर्ड र समस्या ट्रेसिङ र डेटा सांख्यिकीय विश्लेषणको सुविधाको लागि अभिलेख गरिएको छ।
5. वर्कपीस र्याक सब्सट्रेट तालिकाको लिफ्टिंग र कम गर्न नियन्त्रण गर्न सर्वो मोटरले सुसज्जित छ।ग्रेफाइट वा रातो तामा सब्सट्रेट तालिका चयन गर्न सकिन्छ।तापक्रम थर्मोकोपल द्वारा मापन गरिन्छ।
6. र्याक कम्पोनेन्टहरू ग्राहकहरूको विशेष ह्यान्डलिंग आवश्यकताहरू पूरा गर्न ग्राहक आवश्यकताहरू अनुसार पूर्ण रूपमा वा अलग रूपमा डिजाइन गर्न सकिन्छ।
7. सील प्लेट कम्पोनेन्टहरू सुन्दर र सुरुचिपूर्ण छन्।उपकरणको विभिन्न कार्यात्मक मोड्युल क्षेत्रहरूमा सील प्लेटहरू छिटो छुट्याउन वा खोल्न र स्वतन्त्र रूपमा बन्द गर्न सकिन्छ, जुन प्रयोग गर्न धेरै सुविधाजनक छ।

तातो फिलामेन्ट CVD उपकरण पातलो फिल्म कोटिंग, स्व-समर्थन बाक्लो फिल्म, माइक्रोक्रिस्टलाइन र nanocrystalline हीरा, प्रवाहकीय हीरा, इत्यादि सहित हीरा सामग्रीहरू जम्मा गर्न उपयुक्त छ। यो मुख्य रूपमा सिमेन्ट कार्बाइड काट्ने उपकरण, अर्धचालक सामग्रीको पहिरन-प्रतिरोधी सुरक्षात्मक कोटिंगको लागि प्रयोग गरिन्छ। जस्तै सिलिकन र सिलिकन कार्बाइड, यन्त्रहरूको तातो अपव्यय कोटिंग, बोरन डोपड कन्डक्टिव डायमंड इलेक्ट्रोड, इलेक्ट्रोलाइटिक पानीको ओजोन कीटाणुशोधन वा ढल प्रशोधन।