1) बेलनाकार लक्ष्यहरूमा प्लानर लक्ष्यहरू भन्दा उच्च उपयोग दर छ।कोटिंग प्रक्रियामा, चाहे यो रोटरी चुम्बकीय प्रकार होस् वा रोटरी ट्यूब प्रकार बेलनाकार स्पटरिंग लक्ष्य हो, लक्षित ट्यूबको सतहका सबै भागहरू क्याथोड स्पटरिंग प्राप्त गर्न स्थायी चुम्बकको अगाडि उत्पन्न भएको स्पटरिंग क्षेत्रबाट लगातार गुज्र्छन्, र लक्ष्य समान रूपमा स्पटर एच गर्न सकिन्छ, र लक्ष्य उपयोग दर उच्च छ।लक्ष्य सामग्रीको उपयोग दर लगभग 80% ~ 90% छ।
2) बेलनाकार लक्ष्यहरू "लक्ष्य विषाक्तता" उत्पादन गर्न सजिलो हुनेछैन।कोटिंग प्रक्रियाको क्रममा, लक्ष्य ट्यूबको सतह जहिले पनि आयनहरू द्वारा स्पटर गरिएको छ र नक्काशी गरिएको छ, र सतहमा बाक्लो अक्साइड र अन्य इन्सुलेट फिल्महरू जम्मा गर्न सजिलो छैन, र "लक्ष्य विषाक्तता" उत्पादन गर्न सजिलो छैन।
3) रोटरी लक्ष्य ट्यूब प्रकार बेलनाकार स्पटरिंग लक्ष्य को संरचना सरल र स्थापना गर्न सजिलो छ।
4) बेलनाकार लक्ष्य ट्यूब सामग्री विभिन्न प्रकारका छन्।प्लानर लक्ष्य धातु लक्ष्य प्रत्यक्ष पानी कूलिंग संग, र केहि प्रशोधन गर्न सकिदैन र बेलनाकार लक्ष्यहरू गठन गर्न सकिँदैन, जस्तै In2-SnO2 लक्ष्य, आदि। प्लेट-जस्तै लक्ष्यहरू प्राप्त गर्न तातो आइसोस्टेटिक थिचेर पाउडर सामग्रीको साथ, किनभने आकार बनाउन सकिँदैन। ठूलो, र भंगुर, त्यसैले टारगेट आधारमा एकीकृत गर्न र त्यसपछि स्थापना गर्न ब्रेजिङ विधि र तामा ब्याकप्लेट प्रयोग गर्न आवश्यक छ।धातुका पाइपहरूका अतिरिक्त, स्तम्भका लक्ष्यहरू पनि स्टेनलेस स्टील पाइपहरूको सतहमा विभिन्न सामग्रीहरू सहित स्प्रे गर्न सकिन्छ जसलाई लेप गर्न आवश्यक छ, जस्तै Si, Cr, आदि।
हाल, औद्योगिक उत्पादनमा कोटिंगको लागि बेलनाकार लक्ष्यहरूको अनुपात बढ्दै गएको छ।बेलनाकार लक्ष्यहरू ठाडो कोटिंग मेसिनको लागि मात्र प्रयोग गर्दैन तर रोल टु रोल कोटिंग मेसिनमा पनि प्रयोग गर्दछ।हालका वर्षहरूमा, प्लानर जुम्ल्याहा लक्ष्यहरू क्रमशः बेलनाकार जुम्ल्याहा लक्ष्यहरूद्वारा प्रतिस्थापित हुन्छन्।
—— यो लेख गुआंग्डोंग जेनहुआ टेक्नोलोजी, ए द्वारा जारी गरिएको थियोअप्टिकल कोटिंग मिसिन को निर्माता.
पोस्ट समय: मे-11-2023