प्लाज्मा प्रत्यक्ष polymerization प्रक्रिया
प्लाज्मा पोलिमराइजेशनको प्रक्रिया आन्तरिक इलेक्ट्रोड पोलिमराइजेशन उपकरण र बाह्य इलेक्ट्रोड पोलिमराइजेसन उपकरण दुवैको लागि अपेक्षाकृत सरल छ, तर प्लाज्मा पोलिमराइजेशनमा प्यारामिटर छनोट बढी महत्त्वपूर्ण छ, किनकि प्लाज्मा पोलिमराइजेशनको क्रममा बहुलक फिल्महरूको संरचना र प्रदर्शनमा प्यारामिटरहरूले बढी प्रभाव पार्छ।
प्रत्यक्ष प्लाज्मा पोलिमराइजेशनको लागि अपरेशन चरणहरू निम्नानुसार छन्:
(१) भ्याकुमिङ
भ्याकुम अवस्था अन्तर्गत पोलिमराइजेशनको पृष्ठभूमि वैक्यूम 1.3 × 10-1Pa मा पम्प गरिनु पर्छ।अक्सिजन वा नाइट्रोजन सामग्री नियन्त्रण गर्न विशेष आवश्यकताहरू आवश्यक पर्ने पोलिमराइजेशन प्रतिक्रियाहरूको लागि, पृष्ठभूमि भ्याकुम आवश्यकता अझ बढी छ।
(२) चार्ज प्रतिक्रिया मोनोमर वा वाहक ग्यास र मोनोमरको मिश्रित ग्यास
भ्याकुम डिग्री 13-130Pa छ।प्लाज्मा पोलिमराइजेशनको लागि काम आवश्यक छ, उपयुक्त प्रवाह नियन्त्रण मोड र प्रवाह दर चयन गरिनेछ, सामान्यतया 10.100mL/min।प्लाज्मामा, मोनोमर अणुहरू आयनीकृत हुन्छन् र ऊर्जावान कणहरूको बमबारीबाट अलग हुन्छन्, परिणामस्वरूप सक्रिय कणहरू जस्तै आयनहरू र सक्रिय जीनहरू।प्लाज्मा द्वारा सक्रिय सक्रिय कणहरूले ग्याँस चरण र ठोस चरणको इन्टरफेसमा प्लाज्मा पोलिमराइजेशन गुजर्न सक्छ।मोनोमर प्लाज्मा पोलिमराइजेशनको लागि अग्रसरको स्रोत हो, र इनपुट प्रतिक्रिया ग्याँस र मोनोमर निश्चित शुद्धता हुनुपर्छ।
(3) उत्तेजना पावर आपूर्ति को चयन
पोलिमराइजेशनको लागि प्लाज्मा वातावरण प्रदान गर्न DC, उच्च-फ्रिक्वेन्सी, RF, वा माइक्रोवेभ पावर स्रोतहरू प्रयोग गरेर प्लाज्मा उत्पन्न गर्न सकिन्छ।बिजुली आपूर्ति को चयन संरचना र बहुलक को प्रदर्शन को लागी आवश्यकताहरु मा आधारित छ।
(4) डिस्चार्ज मोडको चयन
बहुलक आवश्यकताहरूको लागि, प्लाज्मा पोलिमराइजेशनले दुई डिस्चार्ज मोडहरू छनौट गर्न सक्छ: निरन्तर डिस्चार्ज वा पल्स डिस्चार्ज।
(5) डिस्चार्ज प्यारामिटरहरूको चयन
प्लाज्मा पोलिमराइजेशन सञ्चालन गर्दा, डिस्चार्ज प्यारामिटरहरू प्लाज्मा प्यारामिटरहरू, पोलिमर गुणहरू र संरचना आवश्यकताहरूबाट विचार गर्न आवश्यक छ।पोलिमराइजेशनको समयमा लागू गरिएको शक्तिको परिमाण भ्याकुम चेम्बर, इलेक्ट्रोड साइज, मोनोमर प्रवाह दर र संरचना, पोलिमराइजेशन दर, र बहुलक संरचना र प्रदर्शनको मात्रा द्वारा निर्धारण गरिन्छ।उदाहरणका लागि, यदि प्रतिक्रिया कक्ष भोल्युम 1L हो र RF प्लाज्मा पोलिमराइजेशन अपनाइयो भने, डिस्चार्ज पावर 10 ~ 30W को दायरामा हुनेछ।यस्तो अवस्थामा, उत्पन्न प्लाज्मा workpiece को सतह मा एक पातलो फिल्म बनाउन को लागी जम्मा गर्न सक्छ।प्लाज्मा पोलिमराइजेशन फिल्मको वृद्धि दर बिजुली आपूर्ति, मोनोमर प्रकार र प्रवाह दर, र प्रक्रिया अवस्थाहरूमा भिन्न हुन्छ।सामान्यतया, वृद्धि दर 100nm/min ~ 1um/min हो।
(6) प्लाज्मा पोलिमराइजेशन मा प्यारामिटर मापन
प्लाज्मा पोलिमराइजेशनमा मापन गरिने प्लाज्मा प्यारामिटरहरू र प्रक्रिया प्यारामिटरहरू समावेश छन्: डिस्चार्ज भोल्टेज, डिस्चार्ज वर्तमान, डिस्चार्ज फ्रिक्वेन्सी, इलेक्ट्रोन तापमान, घनत्व, प्रतिक्रिया समूह प्रकार र एकाग्रता, आदि।
—— यो लेख गुआंग्डोंग जेनहुआ टेक्नोलोजी, ए द्वारा जारी गरिएको थियोअप्टिकल कोटिंग मिसिन को निर्माता.
पोस्ट समय: मे-०५-२०२३