खोक्रो क्याथोड आयन कोटिंग को प्रक्रिया

खोक्रो क्याथोड आयन कोटिंग को प्रक्रिया निम्नानुसार छ:

1, चिन इन्गटहरू पतनमा राख्नुहोस्।

2, workpiece माउन्ट गर्दै।

3、5×10-3Pa मा खाली गरिसकेपछि, सिल्भर ट्यूबबाट कोटिंग चेम्बरमा आर्गन ग्यास प्रवेश गरिन्छ, र भ्याकुम स्तर लगभग 100Pa हुन्छ।

4, पूर्वाग्रह शक्ति खोल्नुहोस्।

5, खोक्रो क्याथोड डिस्चार्जलाई प्रज्वलित गर्न आर्क पावर अन गरेपछि। बटन ट्यूबमा चमक डिस्चार्ज उत्पन्न हुन्छ, डिस्चार्ज भोल्टेज 800 ~ 1000V छ, चाप-उठाउने वर्तमान 30 ~ 50A छ। चमकको खोक्रो क्याथोड प्रभावको कारण डिस्चार्ज,उच्च ग्लो डिस्चार्ज वर्तमान घनत्व,चाँदीको ट्यूबमा मुसाको आयनहरूको उच्च घनत्वले भ्यान्टेज ट्यूबको भित्तामा बमबारी गर्छ, इलेक्ट्रोन प्रवाहको उत्सर्जनमा ट्यूबको पर्खाललाई द्रुत रूपमा न्यानो बनाउनुहोस्, ग्लो डिस्चार्जबाट डिस्चार्ज मोड अचानक परिवर्तन हुन्छ। चाप डिस्चार्ज, भोल्टेज 40 ~ 70V हो, वर्तमान 80 ~ 300A हो। सिल्भर ट्यूबको तापक्रम 2300K माथि पुग्छ, इन्क्यान्डेसेन्ट, ट्यूबबाट आर्क इलेक्ट्रोनहरूको उच्च घनत्व स्ट्रिम उत्सर्जित गर्दछ, र एनोडमा शट गरिन्छ।

6, भ्याकुम स्तरको समायोजन। खोक्रो क्याथोड बन्दुकबाट ग्लो डिस्चार्जको लागि भ्याकुम स्तर लगभग 100 Pa छ, र कोटिंगको भ्याकुम डिग्री 8 × 10-1 ~ 2Pa छ। त्यसैले, चाप डिस्चार्जको इग्निशन पछि, आगमन आर्गन घटाउनुहोस्। जतिसक्दो चाँडो ग्यास, कोटिंगको लागि उपयुक्त दायरामा भ्याकुम स्तर समायोजन गर्नुहोस्।

7, टाइटेनियम प्लेटेड आधार तह। एनोडिकली भत्किएको चिन मेटल इन्गटमा इलेक्ट्रोन प्रवाह, गतिज ऊर्जालाई थर्मल ऊर्जामा रूपान्तरण, तताएर चिन धातुको वाष्पीकरण, वाष्प परमाणुहरू टाइटेनियम फिल्म बनाउन वर्कपीसमा पुग्छन्।

8、TiN को डिपोजिसन। नाइट्रोजन ग्यास कोटिंग चेम्बरमा आपूर्ति गरिन्छ, नाइट्रोजन ग्यास र बाष्पीकरण गरिएका परमाणुहरू नाइट्रोजन र टाइटेनियम आयनहरूमा आयनीकृत हुन्छन्। क्रुसिबलको माथि, टाइटेनियम भाप परमाणुहरूको अलोचक टक्करको उच्च सम्भावना, कम स्ट्रिमेनन्सको साथ धातु पृथकीकरण दर 20% ~ 40% को रूपमा उच्च छ।, टाइटेनियम आयनहरूले प्रतिक्रिया ग्याँस नाइट्रोजन, एक नाइट्राइड आवरण फिल्म तह प्राप्त गर्न डिपोजिसनसँग रासायनिक प्रतिक्रिया गर्ने सम्भावना बढी हुन्छ। खोक्रो क्याथोड बन्दूक दुवै वाष्पीकरण स्रोत हो，अर्को स्रोत कोटिंग को समयमा, क्रुसिबल वरिपरि विद्युत चुम्बकीय कुंडल को वर्तमान पनि समायोजित गरिनु पर्छ, पतन को केन्द्र मा इलेक्ट्रोन बीम फोकस, यसरी, इलेक्ट्रोन प्रवाह को शक्ति घनत्व बढेको छ।

9, पावर बन्द। फिल्मको मोटाई पूर्वनिर्धारित फिल्म मोटाईमा पुगेपछि, चाप पावर आपूर्ति बन्द गर्नुहोस्, पूर्वाग्रह पावर आपूर्ति र हावा आपूर्ति।