क्याथोडिक आर्क स्रोत आयन कोटिंग को प्रक्रिया मूलतया अन्य कोटिंग टेक्नोलोजीहरु जस्तै छ, र workpieces स्थापना र भ्याकुमिंग जस्ता केहि अपरेशन अब दोहोरिने छैन।
1. workpieces को बमबारी सफाई
कोटिंग गर्नु अघि, आर्गन ग्यास 2×10-2Pa को भ्याकुमको साथ कोटिंग चेम्बरमा प्रस्तुत गरिन्छ।
20% को कर्तव्य चक्र र 800-1000V को एक workpiece पूर्वाग्रह संग, पल्स पूर्वाग्रह पावर आपूर्ति खोल्नुहोस्।
जब आर्क पावर सक्रिय हुन्छ, चिसो क्षेत्र चाप प्रकाश डिस्चार्ज उत्पन्न हुन्छ, जसले चाप स्रोतबाट ठूलो मात्रामा इलेक्ट्रोन वर्तमान र टाइटेनियम आयन प्रवाह उत्सर्जन गर्दछ, उच्च घनत्व प्लाज्मा बनाउँछ।टाइटेनियम आयनले workpiece मा लागू नकारात्मक उच्च पूर्वाग्रह दबाव अन्तर्गत workpiece मा यसको इंजेक्शन को गति, बमबारी र workpiece को सतह मा सोखिएको अवशिष्ट ग्यास र प्रदूषक स्पटरिंग, र workpiece को सतह को सफाई र शुद्ध;एकै समयमा, कोटिंग कक्षमा क्लोरीन ग्यास इलेक्ट्रोनहरू द्वारा आयनीकृत हुन्छ, र आर्गन आयनहरूले वर्कपीस सतहको बमबारीलाई गति दिन्छ।
त्यसैले, बमबारी सफाई प्रभाव राम्रो छ।लगभग 1 मिनेटको बमबारी सफाईले वर्कपीस सफा गर्न सक्छ, जसलाई "मुख्य चाप बमबारी" भनिन्छ।टाइटेनियम आयनहरूको उच्च द्रव्यमानको कारण, यदि सानो चाप स्रोत धेरै लामो समयसम्म वर्कपीसलाई बमबारी गर्न र सफा गर्न प्रयोग गरिन्छ भने, वर्कपीसको तापक्रम अत्यधिक तताउने खतरा हुन्छ, र उपकरणको किनारा नरम हुन सक्छ।सामान्य उत्पादनमा, साना चाप स्रोतहरू माथिदेखि तलसम्म एक-एक गरेर खोलिन्छन्, र प्रत्येक सानो चाप स्रोतमा लगभग 1 मिनेटको बमबारी सफाई समय हुन्छ।
(1) कोटिंग टाइटेनियम तल तह
फिल्म र सब्सट्रेट बीचको आसंजन सुधार गर्न को लागी, शुद्ध टाइटेनियम सब्सट्रेट को एक तह सामान्यतया टाइटेनियम नाइट्राइड कोटिंग गर्नु अघि लेप गरिन्छ।भ्याकुम स्तर 5×10-2-3×10-1Pa मा समायोजन गर्नुहोस्, workpiece पूर्वाग्रह भोल्टेज 400-500V मा समायोजन गर्नुहोस्, र पल्स पूर्वाग्रह विद्युत आपूर्तिको कर्तव्य चक्र 40% ~ 50% मा समायोजन गर्नुहोस्।अझै पनि चिसो क्षेत्र आर्किङ डिस्चार्ज उत्पन्न गर्न साना चाप स्रोतहरू एक एक गरी प्रज्वलित गर्दै।वर्कपीसको नकारात्मक पूर्वाग्रह भोल्टेजमा कमीको कारण, टाइटेनियम आयनको ऊर्जा घट्छ।वर्कपीसमा पुगेपछि, स्पटरिंग प्रभाव डिपोजिसन प्रभाव भन्दा कम हुन्छ, र टाइटेनियम नाइट्राइड हार्ड फिल्म लेयर र सब्सट्रेट बीचको बन्धन बल सुधार गर्न वर्कपीसमा टाइटेनियम ट्रान्जिसन लेयर बनाइन्छ।यो प्रक्रिया पनि workpiece तताउने प्रक्रिया हो।जब शुद्ध टाइटेनियम लक्ष्य डिस्चार्ज हुन्छ, प्लाज्मामा प्रकाश नीला नीलो हुन्छ।
1. एमोनिएटेड कचौरा हार्ड फिल्म कोटिंग
भ्याकुम डिग्री 3 × 10 मा समायोजन गर्नुहोस्-1-5Pa, workpiece पूर्वाग्रह भोल्टेज 100-200V मा समायोजन गर्नुहोस्, र 70% ~ 80% मा पल्स पूर्वाग्रह विद्युत आपूर्तिको कर्तव्य चक्र समायोजन गर्नुहोस्।नाइट्रोजन पेश गरिसकेपछि, टाइटेनियम चाप डिस्चार्ज प्लाज्मासँग टाइटेनियम नाइट्राइड हार्ड फिल्म जम्मा गर्नको लागि संयोजन प्रतिक्रिया हो।यस बिन्दुमा, भ्याकुम चेम्बरमा प्लाज्माको प्रकाश चेरी रातो हुन्छ।यदि सी2H2, ओ2, आदि पेश गरिएको छ, TiCN, TiO2, आदि फिल्म तहहरू प्राप्त गर्न सकिन्छ।
- यो लेख गुआंग्डोंग Zhenhua द्वारा जारी गरिएको थियो, एकभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्माता
पोस्ट समय: जुन-01-2023