भ्याकुम कोटिंग मेसिन प्रक्रियाहरू के हुन्?काम गर्ने सिद्धान्त के हो?

दवैक्यूम कोटिंगमेसिन प्रक्रिया विभाजित छ: भ्याकुम वाष्पीकरण कोटिंग, भ्याकुम स्पटरिंग कोटिंग र भ्याकुम आयन कोटिंग।

1, वैक्यूम वाष्पीकरण कोटिंग

भ्याकुम अवस्था अन्तर्गत, सामग्रीलाई वाष्पीकरण गर्नुहोस्，जस्तै धातु, धातु मिश्र धातु, इत्यादि। त्यसपछि तिनीहरूलाई सब्सट्रेट सतहमा जम्मा गर्नुहोस्, वाष्पीकरण कोटिंग विधि प्राय: प्रतिरोधी तताउने प्रयोग गरिन्छ, र त्यसपछि कोटिंग सामग्रीको इलेक्ट्रोन बीम बमबारी, तिनीहरूलाई बनाउनुहोस्। ग्यास चरणमा वाष्पीकरण हुन्छ, त्यसपछि सब्सट्रेट सतहमा जम्मा हुन्छ, ऐतिहासिक रूपमा, भ्याकुम वाष्प निक्षेप PVD विधिमा प्रयोग गरिएको पहिलेको प्रविधि हो।

2, स्पटरिंग कोटिंग

ग्यास (Ar) भरिएको भ्याकुम अवस्था अन्तर्गत ग्लो डिस्चार्जको अधीनमा छ, यस क्षणमा आर्गन (Ar) परमाणुहरू नाइट्रोजन आयनहरू (Ar) मा आयन हुन्छन्, आयनहरू विद्युतीय क्षेत्रको बलद्वारा द्रुत हुन्छन्, र क्याथोड लक्ष्यमा बमबारी गर्छन्। कोटिंग सामग्रीबाट बनेको छ, लक्ष्य बाहिर निस्किनेछ र सब्सट्रेट सतहमा जम्मा गरिनेछ स्पटर कोटिंगमा घटना आयनहरू, सामान्यतया ग्लो डिस्चार्ज द्वारा प्राप्त हुन्छन्, 10-2pa देखि 10Pa को दायरामा हुन्छन्，तसर्थ स्पटर कणहरू टक्कर गर्न सजिलो हुन्छ। सब्सट्रेट तिर उड्दा भ्याकुम चेम्बरमा ग्यास अणुहरूसँग, गति दिशा अनियमित र जम्मा गरिएको फिल्म एकरूप हुन सजिलो बनाउँछ।

3, आयन कोटिंग

भ्याकुम अवस्था अन्तर्गत, भ्याकुम अवस्था अन्तर्गत, कोटिंग सामग्री परमाणुहरूलाई आंशिक रूपमा आयनहरूमा आयनीकरण गर्न एक निश्चित प्लाज्मा आयनीकरण प्रविधि प्रयोग गरियो। एकै समयमा धेरै उच्च ऊर्जा तटस्थ परमाणुहरू उत्पादन हुन्छन्, जुन सब्सट्रेटमा नकारात्मक पक्षपात हुन्छ। यसरी, आयनहरू। पातलो फिल्म बनाउनको लागि गहिरो नकारात्मक पूर्वाग्रह अन्तर्गत सब्सट्रेट सतहमा जम्मा गरिन्छ।