उपकरणहरूको यो श्रृंखलाले कोटिंग सामग्रीहरूलाई न्यानोमिटर आकारको कणहरूमा रूपान्तरण गर्न म्याग्नेट्रोन लक्ष्यहरू प्रयोग गर्दछ, जुन पातलो फिल्महरू बनाउनको लागि सब्सट्रेटहरूको सतहमा जम्मा गरिन्छ।रोल गरिएको फिल्म भ्याकुम चेम्बरमा राखिएको छ।विद्युतीय रूपमा चल्ने घुमाउरो संरचना मार्फत, एउटा छेउले फिल्म प्राप्त गर्छ र अर्कोले फिल्म राख्छ।यो लक्ष्य क्षेत्र मार्फत जान्छ र घना फिल्म बनाउन लक्ष्य कणहरू प्राप्त गर्दछ।
विशेषता:
1. कम तापमान फिल्म गठन।तापक्रमले फिल्ममा कम प्रभाव पार्छ र विरूपण उत्पादन गर्दैन।यो पीईटी, पीआई र अन्य आधार सामग्री कुंडली फिल्महरूको लागि उपयुक्त छ।
2. फिल्म मोटाई डिजाइन गर्न सकिन्छ।पातलो वा बाक्लो कोटिंग्स डिजाइन र प्रक्रिया समायोजन द्वारा जम्मा गर्न सकिन्छ।
3. बहु लक्ष्य स्थान डिजाइन, लचिलो प्रक्रिया।सम्पूर्ण मेसिन आठ लक्ष्यहरूसँग सुसज्जित हुन सक्छ, जुन या त साधारण धातु लक्ष्य वा कम्पाउन्ड र अक्साइड लक्ष्यहरूको रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ।यो एकल संरचना संग एकल-तह फिल्महरू वा मिश्रित संरचना संग बहु-तह फिल्महरू तयार गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ।प्रक्रिया धेरै लचिलो छ।
उपकरणले इलेक्ट्रोम्याग्नेटिक शिल्डिङ फिल्म, लचिलो सर्किट बोर्ड कोटिंग, विभिन्न डाइलेक्ट्रिक फिल्म, बहु-तह एआर एन्टिरेफ्लेक्शन फिल्म, एचआर उच्च एन्टिरेफ्लेक्शन फिल्म, कलर फिल्म, आदि तयार गर्न सक्छ। एक पटक फिल्म बयान द्वारा पूरा गर्न सकिन्छ।
उपकरणले साधारण धातु लक्ष्यहरू जस्तै Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, आदि, वा कम्पाउन्ड लक्ष्यहरू जस्तै SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, आदि अपनाउन सक्छ।
उपकरण आकारमा सानो छ, संरचना डिजाइनमा कम्प्याक्ट छ, भुइँ क्षेत्रमा सानो छ, ऊर्जा खपतमा कम छ, र समायोजनमा लचिलो छ।यो प्रक्रिया अनुसन्धान र विकास वा सानो ब्याच ठूलो उत्पादन लागि धेरै उपयुक्त छ।