De apparatuur maakt gebruik van de verdampingstechnologie met elektronenbundels.Elektronen worden uitgezonden door de kathodegloeidraad en gefocusseerd tot een bepaalde bundelstroom, die wordt versneld door de potentiaal tussen de kathode en de smeltkroes om het coatingmateriaal te smelten en te verdampen.Het heeft de kenmerken van een hoge energiedichtheid en kan het coatingmateriaal verdampen met een smeltpunt van meer dan 3000 ℃.De film heeft een hoge zuiverheid en een hoog thermisch rendement.
De apparatuur is uitgerust met een elektronenstraalverdampingsbron, een ionenbron, een filmdiktebewakingssysteem, een filmdiktecorrectiestructuur en een stabiel paraplu-werkstukrotatiesysteem.Door ionenbronondersteunde coating wordt de compactheid van de film verhoogd, de brekingsindex gestabiliseerd en het fenomeen van golflengteverschuiving als gevolg van vocht vermeden.Het volautomatische real-time monitoringsysteem voor de filmdikte kan de herhaalbaarheid en stabiliteit van het proces garanderen.Het is uitgerust met een zelfsmeltfunctie om de afhankelijkheid van de vaardigheden van de operator te verminderen.
De apparatuur is toepasbaar op verschillende oxiden en metalen coatingmaterialen en kan worden gecoat met meerlaagse optische precisiefilms, zoals AR-film, langegolfdoorgang, kortegolfdoorgang, verhelderende film, AS / AF-film, IRCUT, kleurenfilmsysteem , gradiëntfilmsysteem, enz. Het wordt veel gebruikt in AR-brillen, optische lenzen, camera's, optische lenzen, filters, halfgeleiderindustrieën, enz.