De apparatuur integreert magnetronsputteren en weerstandsverdampingstechnologie en biedt een oplossing voor het coaten van een groot aantal verschillende substraten.
De experimentele coatingapparatuur wordt voornamelijk gebruikt in universiteiten en wetenschappelijke onderzoeksinstellingen en kan aan verschillende experimentele vereisten voldoen.Verschillende structurele doelen zijn gereserveerd voor de apparatuur, die flexibel kan worden geconfigureerd om te voldoen aan wetenschappelijk onderzoek en ontwikkeling op verschillende gebieden.Magnetron-sputtersysteem, kathodeboogsysteem, elektronenstraalverdampingssysteem, weerstandsverdampingssysteem, CVD, PECVD, ionenbron, biassysteem, verwarmingssysteem, driedimensionale armatuur, enz. Kunnen worden geselecteerd.Klanten kunnen selecteren op basis van hun verschillende behoeften.
De apparatuur heeft de kenmerken van een mooi uiterlijk, compacte structuur, klein vloeroppervlak, hoge mate van automatisering, eenvoudige en flexibele bediening, stabiele prestaties en eenvoudig onderhoud.
De apparatuur kan worden toegepast op kunststof, roestvrij staal, gegalvaniseerde hardware / kunststof onderdelen, glas, keramiek en andere materialen.Eenvoudige metaallagen zoals titaan-, chroom-, zilver-, koper-, aluminium- of metaalverbindingsfilms zoals TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC kunnen worden vervaardigd.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600 (mm) | φ600*H800 (mm) | φ800*H1000 (mm) |