1) Cilindrische doelen hebben een hogere bezettingsgraad dan vlakke doelen.Tijdens het coatingproces, of het nu gaat om een roterend magnetisch type of een cilindrisch sputtertrefplaat van het roterende buistype, gaan alle delen van het oppervlak van de doelbuis continu door het sputtergebied dat voor de permanente magneet wordt gegenereerd om kathodeverstuiving op te vangen, en de doel kan uniform worden gesputterd geëtst en de doelbenuttingsgraad is hoog.De bezettingsgraad van doelmaterialen is ongeveer 80% ~ 90%.
2) Cilindrische doelen zullen niet gemakkelijk "doelvergiftiging" veroorzaken.Tijdens het coatingproces wordt het oppervlak van de doelbuis altijd gesputterd en geëtst door ionen, en het is niet gemakkelijk om dikke oxiden en andere isolerende films op het oppervlak te verzamelen, en het is niet gemakkelijk om "doelvergiftiging" te produceren.
3) De structuur van het cilindrische sputterdoel van het roterende doelbuistype is eenvoudig en gemakkelijk te installeren.
4) Het cilindrische doelbuismateriaal heeft verschillende typen.vlak doel met metalen doel directe waterkoeling, en sommige kunnen niet worden verwerkt en gevormde cilindrische doelen, zoals In2-SnO2-doel, enz. Met poedermateriaal voor heet isostatisch persen om plaatachtige doelen te verkrijgen, omdat de maat niet kan worden gemaakt groot en broos, dus het is noodzakelijk om de soldeermethode en koperen achterplaat te gebruiken om te integreren en vervolgens op de doelbasis te installeren.Naast metalen buizen kunnen ook zuilvormige doelen op het oppervlak van roestvrijstalen buizen worden gespoten met verschillende materialen die moeten worden gecoat, zoals Si, Cr, enz.
Momenteel neemt het aandeel cilindrische targets voor coating in de industriële productie toe.Cilindrische doelen worden niet alleen gebruikt voor de verticale coatingmachine, maar ook voor de roll-to-roll coatingmachine.In de afgelopen jaren zijn de vlakke dubbele doelen geleidelijk vervangen door de cilindrische dubbele doelen.
——Dit artikel is uitgebracht door Guangdong Zhenhua Technology, afabrikant van optische coatingmachines.
Posttijd: 11 mei 2023