1. Kenmerken van booglichtelektronenstroom
De dichtheid van elektronenstroom, ionenstroom en energierijke neutrale atomen in boogplasma gegenereerd door boogontlading is veel hoger dan die van glimontlading.Er zijn meer gasionen en metaalionen geïoniseerd, geëxciteerde hoogenergetische atomen en verschillende actieve groepen in de coatingruimte, die een belangrijke rol spelen in de verwarmings-, reinigings- en coatingfasen van het coatingproces.De actievorm van boogelektronenstroom verschilt van die van ionenbundel, die niet allemaal convergeren in een "straal", maar meestal in een divergerende toestand, dus wordt het boogelektronenstroom genoemd.Omdat boogelektronen naar de anode stromen, wordt de boogelektronenstroom overal naartoe geleid waar de positieve elektrode van de boogvoeding is aangesloten, en de anode kan een werkstuk, hulpanode, smeltkroes, enz. Zijn.
2. Methode voor het genereren van een boogelektronenstroom
(1) De gasbron genereert boogelektronenstroom: de boogstroom van boogontlading met holle kathode en boogontlading met hete draad kan ongeveer 200A bereiken en de boogspanning is 50-70V.
(2) Vaste bron genereert boogelektronenstroom: kathodeboogbron, inclusief kleine boogbron, cilindrische boogbron, rechthoekig vlak grote boogbron, enz. De boogstroom van elke kathodeboogbronontlading is 80-200A, en de boogspanning is 18-25V.
De boogelektronenstroom met hoge dichtheid en lage energie in twee soorten boogontladingsplasma's kan intense botsingionisatie met gas- en metaalfilmatomen genereren, waardoor meer gasionen, metaalionen en verschillende actieve atomen en groepen met hoge energie worden verkregen, waardoor de de algehele activiteit van de filmlaagionen.
–Dit artikel is uitgebracht door Guangdong Zhenhua, afabrikant van vacuümcoatingmachines
Posttijd: 31 mei 2023