1. Thermische CVD-technologie
Harde coatings zijn meestal metaalkeramische coatings (TiN, etc.), die worden gevormd door de reactie van metaal in de coating en reactieve vergassing.Aanvankelijk werd de thermische CVD-technologie gebruikt om de activeringsenergie van een combinatiereactie te leveren door thermische energie bij een hoge temperatuur van 1000 ℃.Deze temperatuur is alleen geschikt voor het afzetten van TiN en andere harde coatings op hardmetalen gereedschappen.Tot nu toe is het nog steeds een belangrijke technologie om TiN-Al20-composietcoatings op gecementeerde hardmetalen gereedschapskoppen aan te brengen.
2. Holle kathode-ionencoating en hete-draadboog-ionencoating
In de jaren tachtig werden holle-kathode-ionencoating en hete-draadboog-ionencoating gebruikt om gecoate snijgereedschappen af te zetten.Beide ionencoatingtechnologieën zijn ionencoatingtechnologieën met boogontlading, met een metaalionisatiegraad van maximaal 20%~40%.
3. Kathodeboogionencoating
De opkomst van kathodische boogioncoating heeft geleid tot de ontwikkeling van de technologie van het afzetten van harde coatings op mallen.De ionisatiesnelheid van kathodische boogionencoating is 60% ~ 90%, waardoor een groot aantal metaalionen en reactiegasionen het oppervlak van het werkstuk kunnen bereiken en toch een hoge activiteit behouden, wat resulteert in reactieafzetting en vorming van harde coatings zoals Blik.Op dit moment wordt de kathodische boog-ioncoatingtechnologie voornamelijk gebruikt om harde coatings op mallen af te zetten.
De kathodeboogbron is een verdampingsbron in vaste toestand zonder een vast smeltbad en de positie van de boogbron kan willekeurig worden geplaatst, waardoor de bezettingsgraad van de coatingruimte wordt verbeterd en de laadcapaciteit van de oven wordt vergroot.De vormen van kathodeboogbronnen omvatten kleine cirkelvormige kathodeboogbronnen, kolomvormige boogbronnen en rechthoekige platte grote boogbronnen.Verschillende componenten van kleine boogbronnen, kolomvormige boogbronnen en grote boogbronnen kunnen afzonderlijk worden gerangschikt om meerlaagse films en nano-meerlaagse films af te zetten.Ondertussen kunnen metaalionen, vanwege de hoge metaalionisatiesnelheid van kathodische boogioncoating, meer reactiegassen absorberen, wat resulteert in een breed procesbereik en eenvoudige bediening om uitstekende harde coatings te verkrijgen.Er zijn echter grove druppeltjes in de microstructuur van de coatinglaag die wordt verkregen door kathodische boogioncoating.In de afgelopen jaren zijn er veel nieuwe technologieën ontstaan om de structuur van de filmlaag te verfijnen, waardoor de kwaliteit van de arcioncoatingfilm is verbeterd.
——Dit artikel is uitgebracht door Guangdong Zhenhua Technology, afabrikant van optische coatingmachines.
Posttijd: 28 april 2023