Het proces van holle kathode-ionencoating is als volgt:
1 、 Plaats Chin-baren in de ineenstorting.
2、Montage van het werkstuk.
3 、 Na evacuatie tot 5 × 10-3 Pa, wordt argongas vanuit de zilveren buis in de coatingkamer gebracht en is het vacuümniveau ongeveer 100 Pa.
4、Schakel de bias-stroom in.
5 、 Na het inschakelen van de boogstroom om de holle kathode-ontlading te ontsteken. De glimontlading wordt gegenereerd in de knopbuis, de ontladingsspanning is 800 ~ 1000 V, de boogverhogende stroom is 30 ~ 50 A. Vanwege het holle kathode-effect van gloed ontlading, hoge stroomdichtheid van de gloeiontlading, de hoge dichtheid van ionen in de zilveren buis bombardeert de wand van de uitkijkbuis, laat de buiswand snel opwarmen tot de emissie van elektronenstroom, de ontladingsmodus van de plotselinge verandering van de gloeiontlading naar boogontlading, spanning is 40 ~ 70V, stroom is 80 ~ 300A. De temperatuur van de zilveren buis bereikt meer dan 2300 K, gloeilamp, zendt een stroom boogelektronen met hoge dichtheid uit de buis en schiet naar de anode.
6 、 Aanpassing van het vacuümniveau. Het vacuümniveau voor glimontlading van het holle-kathodekanon is ongeveer 100 Pa, en de vacuümgraad van de coating is 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Daarom, na ontsteking van de boogontlading, verminder het binnenkomende argon gas zo snel mogelijk, pas het vacuümniveau aan tot een bereik dat geschikt is voor coating.
7、Titanium geplateerde basislaag. Elektronenstroom op de anodisch samengevouwen Chin-metaalstaaf, Omzetting van kinetische energie in thermische energie, Verdamping van Chin-metaal door verhitting, Dampatomen bereiken het werkstuk om een titaniumfilm te vormen.
8 、 Afzetting van TiN. Stikstofgas wordt aan de coatingkamer geleverd, stikstofgas en verdampte atomen worden geïoniseerd tot stikstof- en titaniumionen. Boven de smeltkroes, hogere kans op inelastische botsingen van titaniumdampatomen met dichte stromen van laagenergetische elektronen, De metaaldissociatiesnelheid is zo hoog als 20% ~ 40%.,Titaniumionen reageren eerder chemisch met het reactiegasstikstof, Afzetting om een nitridemantelfilmlaag te verkrijgen. Het holle-kathodekanon is zowel een verdampingsbron, een andere bron van ionisatie. Tijdens het coaten, moet de stroom van de elektromagnetische spoel rond de smeltkroes ook worden aangepast, focus de elektronenstraal op het midden van de ineenstorting, dus de vermogensdichtheid van de elektronenstroom wordt verhoogd.
9、Uitschakelen. Nadat de filmdikte de vooraf bepaalde filmdikte heeft bereikt, schakelt u de boogvoeding uit, Bias voeding en luchttoevoer.
Posttijd: 08-jul-2023